直流式磁控溅射法制备Ta、N双掺TiO₂复合薄膜及其亲水性研究：工艺、性能与应用.docx

直流式磁控溅射法制备Ta、N双掺TiO?复合薄膜及其亲水性研究：工艺、性能与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

TiO?作为一种重要的宽带隙半导体材料，因其具有良好的化学稳定性、强氧化性、成本低、无污染等优点，在光催化、传感器、太阳能电池等领域展现出巨大的应用潜力。特别是TiO?薄膜的亲水性，使其在自清洁、防雾等方面有着广泛的应用前景。例如，在建筑玻璃表面涂覆TiO?亲水性薄膜，可利用雨水的冲刷实现玻璃的自清洁，减少人工清洁成本和水资源浪费，同时提高建筑物外观的美观度和整洁度。在汽车挡风玻璃、后视镜等部件上应用TiO?亲水性薄膜，能够有效防止雾气凝结，提高驾驶安全性。

然而，纯