探寻MEMS微结构动力学特性：理论、影响因素与应用前景.docxVIP

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2025-12-12 发布于上海
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探寻MEMS微结构动力学特性：理论、影响因素与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

随着纳米技术的飞速发展，微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术作为多学科交叉融合的前沿领域，取得了令人瞩目的进展。MEMS技术将微电子技术与精密机械加工技术相结合，能够在微小尺度上实现对机械、电子、光学等多种功能的集成，制造出体积小、重量轻、功耗低、速度快、灵敏度高的微型器件和系统。自20世纪60年代MEMS概念首次被提出以来，经过数十年的发展，已在众多领域得到了广泛应用。在航空航天领域，MEMS惯性传感器被用于卫星姿态控制、飞行