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SiOx薄膜的制备工艺优化及其在硅基薄膜电池中的性能提升研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着全球能源需求的不断增长以及对环境保护的日益重视，太阳能作为一种清洁、可再生的能源，受到了广泛的关注和应用。太阳能电池作为将太阳能转化为电能的关键器件，其性能和成本直接影响着太阳能的大规模利用。硅基薄膜电池作为太阳能电池的一种重要类型，凭借其材料成本低、易于大规模制备、可与柔性衬底结合等优势，在光伏市场中占据了重要地位，具有广阔的发展前景。

然而，硅基薄膜电池目前仍面临一些挑战，其中光电转换效率和稳定性是限制其进一步发展和应用的关键因素。为了提高硅基薄膜电池的性能，研究人员不断探索新的材料和结构，