合金靶材溅射法制备Cu(In,Ga)Se₂薄膜及其性能的深度剖析.docxVIP

合金靶材溅射法制备Cu(In,Ga)Se?薄膜及其性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着全球经济的飞速发展，能源需求持续攀升。国际天然气联盟（IGU）、Snam和知识合作伙伴RystadEnergy发布的《2024年全球天然气报告》指出，2023-2024年全球能源需求稳步增长，天然气需求在2023年增长1.5%，预计到2024年底将加速至2.1%，而在2024年全球能源需求增长了2.2%，达650艾焦耳。在全球电力需求激增的背后，以风能、太阳能等为代表的可再生能源扮演了重要角色，在能源需求中占比最高，达38%。然而，传统化石能源的储量却在不断减少，且其使用带来的环境污染问题日益严重，如煤炭燃烧成为全球最大的能源排放来源。开发清洁、可再生的新能源迫在眉睫。

太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的清洁能源，具有无污染、分布广等显著特点，其开发利用符合全球可持续发展战略。将太阳能转化为电能主要有太阳能热发电和太阳能光伏发电两种方式，其中太阳能光伏发电因利用太阳能电池的光电效应直接将光转化为电能，更为便捷高效，备受关注。太阳能光伏电池主要包括Si电池、薄膜电池、有机物电池和纳米晶电池，其中薄膜电池中的铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池脱颖而出。CIGS薄膜太阳能电池由Cu、In、Ga、Se四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶薄膜，具有光吸收能力强、发电稳定性好、能源回收周期短等诸多优势，其光电转换效率可达20%以上，远高于传统硅基太阳能电池，且材料无毒、环保，有利于大规模生产和应用，逐渐成为太阳能电池行业的重要发展方向，可与传统的晶硅太阳能电池相抗衡。

在CIGS薄膜太阳能电池的制备方法中，合金靶材溅射法具有独特优势。它能够精确控制薄膜的成分和厚度，制备出高纯度、高致密度的薄膜，且可大面积制备，这对于提高CIGS薄膜太阳能电池的性能和降低成本至关重要。通过深入研究合金靶材溅射法制备CIGS薄膜，可以进一步优化制备工艺，提高薄膜的质量和性能，从而提升CIGS薄膜太阳能电池的光电转换效率和稳定性，推动太阳能光伏发电技术的发展，对于缓解全球能源危机、减少环境污染具有重要的现实意义。

1.2国内外研究现状

在国外，CIGS薄膜太阳能电池的研究起步较早，取得了一系列显著成果。美国国家可再生能源实验室（NREL）在CIGS薄膜的制备工艺和性能研究方面处于世界领先水平，其研发的CIGS薄膜太阳能电池的光电转换效率不断刷新纪录，为该领域的发展提供了重要的技术支撑。日本的一些科研机构和企业也对CIGS薄膜太阳能电池进行了深入研究，在产业化方面取得了较大进展，实现了CIGS薄膜太阳能电池的大规模生产和应用。

国内对于CIGS薄膜太阳能电池的研究也在不断深入。中国科学院宁波材料技术与工程研究所成功研发出高效制备柔性钙钛矿/CIGS叠层电池的新技术，在1.09平方厘米器件上实现了23.8%的认证光电转换效率，刷新该类型电池的世界纪录。众多科研团队在CIGS薄膜的制备工艺、材料性能优化等方面展开研究，取得了一定的成果。然而，在合金靶材溅射法制备CIGS薄膜的研究中，仍存在一些不足之处。例如，溅射过程中的工艺参数控制较为复杂，不同参数对薄膜性能的影响机制尚未完全明确，导致难以精确制备出高质量的CIGS薄膜；合金靶材的制备工艺也有待进一步优化，以提高靶材的质量和利用率，降低生产成本。随着科技的不断进步，在材料科学、物理学等多学科交叉融合的推动下，合金靶材溅射法制备CIGS薄膜的研究具有广阔的发展空间。

1.3研究内容与方法

本研究旨在深入探究合金靶材溅射法制备CIGS薄膜的工艺及其性能。具体研究内容包括：通过调整溅射功率、溅射时间、溅射气体流量等工艺参数，制备一系列CIGS薄膜，研究不同工艺参数对薄膜结构和性能的影响；利用XRD、SEM、UV-Vis及四探针测试仪等多种表征手段，对制备的CIGS薄膜进行全面的结构和性能表征，分析薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性能和电学性能等；建立工艺参数与薄膜性能之间的关系模型，优化合金靶材溅射法制备CIGS薄膜的工艺，以提高薄膜的质量和性能。

在研究方法上，采用实验研究与理论分析相结合的方式。在实验方面，搭建合金靶材溅射法制备CIGS薄膜的实验平台，严格控制实验条件，确保实验数据的准确性和可靠性；在理论分析方面，运用半导体物理、材料科学等相关理论，对实验结果进行深入分析和探讨，揭示工艺参数对薄膜性能的影响机制，为工艺优化提供理论依据。

二、合金靶材溅射法制备Cu(In,Ga)Se?薄膜原理与优势

2.1合金靶材溅射法原理

合金靶材溅射法是一种物理气相沉积技