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;目录;;AIGaAs中AI成分测量的技术需求与传统方法局限;(二)高分辨率X射线衍射的技术原理与标准适配性分析;(三)标准确立“金标准”地位的核心依据与行业认可历程;;GaAs衬底的晶格完整性与表面质量对测量的影响机制;;参数设定基于衬底与外延层特性对测量精度的影响规律,经大量正交实验优化。针对未来新型GaAs衬底如半绝缘衬底,建议在标准修订中补充其电阻率对衍射信号的影响数据,调整预处理参数,以适配材料技术发展需求,提升标准的适用性。;;;(二)仪器调试与测量条件设定的核心要点与实操技巧;(三)数据采集与处理的全流程管控及标准符合性判断;;设备校准的周
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