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磁控溅射制备TiCuN纳米膜及其性能的多维度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业与科研领域中，纳米膜凭借其独特的物理化学性质，如高硬度、高耐磨性、良好的化学稳定性以及特殊的电学、光学性能等，占据着极为重要的地位。其应用范围广泛，涵盖了切削刀具、生物医学、电子器件、航空航天等众多关键领域，对推动各领域技术的进步与创新发挥着关键作用。

在切削刀具领域，纳米膜涂层能够显著提升刀具的切削性能和使用寿命。例如，传统刀具在加工高强度、高硬度材料时，容易出现磨损加剧、切削力增大等问题，导致加工精度下降和刀具频繁更换。而镀覆纳米膜后的刀具，由于纳米膜的高硬度和耐磨性，能够有效抵抗切削过程中的磨损