电子显微镜讲义.pptVIP

BE、SE的信号强度与Z的关系第60页，共89页，星期日，2025年，2月5日SEI、BEI与Z的关系MgOMgOSrTiO3SrTiO3BEI(MgO+白色SrTiO3)第61页，共89页，星期日，2025年，2月5日二、二次电子二次电子是入射电子在单电子激发过程被入射电子轰击出来的试样电子，二次电子的能量很低，一般小于50eV,它只能从很薄的试样表层内激发出来，表层深度小于10nm，更深的二次电子由于能量小而无力逸出表面。其中90%来自于外层价电子。特征：1)二次电子能量较低。一般不超过50ev，大部分几ev；

2)来自表层5—10nm深度范围；

2、图像无阴影效应；3)对样品表面化状态十分敏感，因此能有效地反映样品表面的形貌；4、SE的产额δ≒K/cosθ,K为常数，θ为入射电子束与试样表面法线之间的夹角，θ角越大，产额越高，所以对试样表面状态非常敏感；SE的产额还与加速电压、试样组成等有关。

5)其产额与原子序数间没有明显的依赖关系。因此，不能进行成分分析。第62页，共89页，星期日，2025年，2月5日大倾斜角图像二次电子能量低，从试样表面逸出的深度为5nm－10nm。如果产生二次电子的深度为x，逸出表面的最短距离则为：xcosθ（图c），显然，大θ角的xcosθ小，会有更多的二次电子逸出表面。不规则试样表面不同点θ角不同，SE产额也不同（I＝K/cosθ）。观察比较平坦的试样表面时，如果倾斜一定的角度，会得到更好的二次电子图像衬度。第63页，共89页，星期日，2025年，2月5日2.3电子的基本性质电子是英国物理学家汤姆逊(J.J.Thomson)于1897年在研究阴极射线是发现的，它是最早被发现的基本粒子。一般地说，电子是指带有负电的电子，静止质量为9.11×10-31Kg,其电量为1.602×10-19库伦，是电量的最小单位，电子定向运动形成电流，利用电场和磁场可按需要的方式控制电子的运动，正是利用这一性质，人们发明了各种电子仪器，电镜就是其中之一。1924年法国的科学家德布罗意（deBroglie）指出，任何一种快速运动的粒子（这里的快速是指接近光速），都具有类似于光的性质，具有波动性，有一定的波长和频率。其波长与粒子质量和运行速度的关系：λ=h/mv=h/p（2-1）λ:wavelengthoftheelectronp:momentumh:Planck’sconstant,6.67×10-34此时，微观粒子显示出波动性，粒子性不显著；有时显示出粒子性，波动性不显著。如电子衍射时显示出电子的波动性；而电子与电子或其他粒子碰撞时则表现出电子的粒子性。第28页，共89页，星期日，2025年，2月5日电子运动速度与电场强度的关系如果电子在电场V的作用下加速运动，它的动能等于电场对它做的功，即mv2/2=eVm,e是电子的质量和电荷v是电子的速度，V是加速电压。所以v=(2eV/m)1/2（2-2）由2-1和2-2可得到(2-3)第29页，共89页，星期日，2025年，2月5日M0电子的静止质量9.11×10-31KgV是电子的速度，c是光速3.0×108m/s?。①????若电子速度较低，则其质量和静止质量相近，即m=m0,则，?????②????若加速电压很高，使电子具有极高速度，则经过相对论修正，有第30页，共89页，星期日，2025年，2月5日在加速电压为V的电场作用下，一个静止的电子所获得的动能等于电子的总能量mc2与静止能量m0c2之差,即eV=mc2-m0c2将上两式合并，在结合德布罗意公式可得第31页，共89页，星期日，2025年，2月5日综上所述：1.提高加速电压，缩短电子波长，提高电镜分辨率；2.加速电压越高，对试样的穿透能力越大，可放宽对样品的减薄要求。3.如用更厚样品，更接近样品实际情况。4.电子波长与可见光相比，相差105量级。第32页，共89页，星期日，2025年，2月5日2.2磁透镜的工作原理可见光用玻璃透镜聚