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硅料腐蚀工职业健康操作规程

文件名称：硅料腐蚀工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于从事硅料腐蚀工作的相关人员。规程旨在确保作业人员在工作过程中的人身安全和身体健康，预防职业危害，保障生产秩序。要求所有参与硅料腐蚀作业人员必须严格遵守本规程，提高安全意识，掌握安全操作技能。规程内容应与国家相关法律法规、行业标准相一致。

二、操作前的准备

1.个人防护：

-作业人员应穿戴符合国家安全标准的防护服、防护手套、防护眼镜、防尘口罩等个人防护装备。

-操作过程中，如需进入腐蚀性气体或粉尘浓度较高的区域，应佩戴防毒面具。

-操作人员应保持个人卫生，避免皮肤直接接触腐蚀性化学品。

2.设备检查：

-确认腐蚀设备处于正常工作状态，包括设备电源、管道、阀门、控制系统等。

-检查腐蚀设备是否有泄漏、磨损、腐蚀等异常情况，如有问题，应及时报修。

-确认设备上的安全防护装置齐全有效，如紧急停止按钮、限位开关等。

3.环境检查：

-检查作业现场是否有易燃易爆物品，确保现场通风良好，无积聚的腐蚀性气体或粉尘。

-确认腐蚀区域的安全通道畅通，紧急疏散指示清晰可见。

-检查腐蚀现场是否有足够的照明，确保操作人员视线清晰。

4.物料准备：

-根据作业需求准备适量的硅料、腐蚀液、清洗液等物料，并检查其质量是否符合要求。

-确保腐蚀液浓度、温度等参数符合操作规程要求。

-将所有物料放置在指定的安全区域，并做好标识。

5.操作培训与确认：

-对新入职或转岗的作业人员进行硅料腐蚀操作规程的培训，确保其掌握安全操作技能。

-操作前，作业人员应熟悉操作规程，了解设备性能和注意事项。

-操作前，由班组长或经验丰富的操作人员对作业人员进行现场指导，确认其已掌握操作技能。

6.紧急预案：

-制定并熟悉应急预案，包括泄漏、火灾、中毒等突发事件的应对措施。

-确认应急物资的存放位置和数量，确保在紧急情况下能够迅速投入使用。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行设备检查，确认设备正常运行且安全防护措施完善。

b.根据作业要求，准备相应的硅料和腐蚀液，并检查其浓度和温度是否符合规程。

c.穿戴好个人防护装备，如防护服、手套、眼镜等。

d.打开通风系统，确保腐蚀区域通风良好。

e.将硅料放入腐蚀槽中，并缓慢加入预定的腐蚀液。

f.启动腐蚀设备，开始腐蚀过程，同时监控腐蚀液的浓度和温度。

g.定时检查硅料腐蚀情况，记录腐蚀数据和过程。

h.腐蚀完成后，关闭腐蚀设备，停止腐蚀过程。

i.清洗腐蚀槽，去除残留的腐蚀液和硅料。

j.清理作业现场，收集和处理废弃物，确保环境安全。

2.作业方式：

-操作过程中，保持稳定的操作手法，避免因操作不当造成设备损坏或人员伤害。

-严格遵循腐蚀液加入的顺序和速度，防止腐蚀液溅出或发生化学反应。

-监控腐蚀液温度，避免过热导致设备损坏或安全事故。

-操作时保持与腐蚀液的适当距离，以防意外喷溅。

-定期检查腐蚀设备，确保其正常运行。

3.异常处置：

-如发现腐蚀设备异常，立即停止操作，切断电源，报告班组长或安全员。

-如腐蚀液溅出或发生泄漏，立即穿戴防护装备，关闭腐蚀液阀门，清理泄漏区域，防止腐蚀液扩散。

-如作业人员出现不适，立即撤离现场，进行紧急救治，并报告上级。

-如发生火灾或其他紧急情况，立即启动应急预案，按照规定程序进行处置。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

-设备运行平稳，无异常振动或噪音。

-腐蚀液温度控制在规定范围内，无过热现象。

-腐蚀设备各部件运行顺畅，无卡滞或异常磨损。

-电气系统工作正常，无短路或过载现象。

-安全防护装置完好，紧急停止按钮、限位开关等均在有效状态。

-通风系统运行良好，腐蚀区域无异味或有害气体溢出。

2.异常现象识别：

-设备出现异常振动或噪音，可能是轴承磨损、齿轮损坏或传动带松弛。

-腐蚀液温度过高或过低，可能影响腐蚀效果或设备安全。

-设备部件出现卡滞或异常磨损，可能由于腐蚀液浓度不当或设备维护不及时。

-电气系统出现异常，如短路、过载或跳闸，可能是电路故障或设备老化。

-安全防护装置失效，如紧急停止按钮失灵或限位开关松动。

-通风系统不畅，可能由于管道堵塞或风机故障，导致腐蚀区域空气污染。

3.状态监测方法：

-定期进行设备外观检查，观察设备是否有磨损、腐蚀或其他损伤。

-使用温度计监测腐蚀液温度，确保其符合操作规程要求。

-利用振动检测仪检查设备振动情况，及时发现异常。

-通过电流