硅基微热板及SnO₂气敏薄膜的测试与分析.docx

硅基微热板及SnO?气敏薄膜的测试与分析

一、引言

在气体检测领域，硅基微热板与SnO?气敏薄膜的结合展现出巨大的应用潜力。硅基微热板凭借其优异的加热性能，能为气敏薄膜提供稳定且可控的工作温度；SnO?气敏薄膜则对多种气体具有良好的敏感性，二者协同工作可实现对气体的高效检测。本文旨在对硅基微热板及SnO?气敏薄膜进行全面的测试与分析，以深入了解其性能特点，为相关气体传感器的优化设计提供依据。

二、硅基微热板与SnO?气敏薄膜的制备

（一）硅基微热板的制备

采用MEMS（微机电系统）工艺制备硅基微热板。首先，在硅衬底上进行氧化处理，形成一层SiO?绝缘层；然后，通过光刻和溅射工艺制作