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公司硅晶片抛光工现场作业操作规程

文件名称：公司硅晶片抛光工现场作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司硅晶片抛光工现场作业。适用于所有在抛光车间从事硅晶片抛光操作的人员。操作人员必须熟悉本规程，并严格按照规程执行。规程旨在确保操作安全，预防事故发生，保障员工生命财产安全。

二、操作前的准备

1.防护用具使用：

a.操作前，必须穿戴适当的防护服，以防止化学物质和抛光粉的溅射。

b.戴好护目镜，确保视线清晰，防止抛光过程中的异物进入眼睛。

c.配戴防尘口罩，防止吸入抛光粉和空气中的有害颗粒。

d.根据操作环境，佩戴适当的耳塞或耳罩，以减少噪声对听力的影响。

e.使用防滑鞋，确保在潮湿或油滑的工作区域行走安全。

2.设备启机前的检查：

a.检查抛光机各部位是否完好，如机械臂、旋转盘、防护罩等。

b.检查抛光机电源线、电气接口是否完好无损，无裸露电线。

c.确认抛光机的水冷却系统正常工作，无泄漏。

d.检查抛光液的品质，确保其浓度适宜，无杂质。

e.检查抛光盘的磨损情况，如发现磨损严重，应及时更换。

f.开启抛光机空载运行，检查是否存在异常振动或噪音。

3.作业区域准备：

a.清理作业区域，确保无杂物，地面干燥平整，无油污。

b.检查作业区域照明是否充足，确保操作人员视线清晰。

c.确保作业区域内有足够的通风，安装通风设备以排出有害气体。

d.检查紧急停止按钮和灭火器材是否处于正常状态，易于操作。

e.确认所有安全标志和警示标识清晰可见，易于识别。

f.预先设置好作业流程，明确每个步骤的操作要点和注意事项。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作步骤：

a.启动抛光机前，确认所有防护措施已经到位，包括穿戴个人防护装备和检查设备状态。

b.打开抛光机电源，启动设备，观察机器是否运行正常。

c.按照设定程序，调整抛光机的速度和压力，确保抛光参数符合工艺要求。

d.检查抛光液流量和压力，确保抛光液供应充足且压力稳定。

e.将硅晶片放置在抛光机上，确保其平稳且无倾斜。

f.启动抛光程序，监控抛光过程，注意观察晶片表面变化。

g.抛光完成后，关闭抛光机，停止抛光液供应，取出抛光后的硅晶片。

h.关闭抛光机电源，清理作业区域，进行日常维护和清洁。

2.特殊工序操作规范：

a.对于特殊要求的硅晶片，需按照特殊工艺流程进行操作，确保达到特定质量标准。

b.特殊工艺可能包括特殊抛光液的使用、特殊温度和压力控制等。

c.操作人员需经过专门培训，熟悉特殊工序的操作方法和潜在风险。

3.异常工况处理方法：

a.如果在操作过程中发现抛光机异常，如振动加剧、噪音增大、抛光液泄漏等，应立即停止操作。

b.检查抛光机是否存在机械故障，如抛光盘损坏、轴承磨损等。

c.如发现电气故障，应立即切断电源，并通知电气维修人员处理。

d.在处理异常情况时，操作人员应保持冷静，按照应急预案进行操作。

e.如果抛光液或化学物质泄漏，应立即穿戴防护装备，使用适当的吸收材料清理泄漏物，并通风换气。

f.在恢复正常操作前，必须确保所有异常情况已得到妥善处理，并经过检查确认安全。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常工况参数：

a.抛光机运行时，机械臂应平稳运行，无异常振动。

b.抛光机旋转盘转速应稳定，符合工艺设定值。

c.抛光液供应应连续均匀，压力在规定范围内。

d.机器噪音应处于可接受水平，无异常噪音。

e.通风系统应正常工作，确保工作环境空气质量。

f.电气系统应稳定运行，无跳闸或过载现象。

2.典型故障现象：

a.机械臂振动过大，可能由于轴承磨损或机械结构问题。

b.旋转盘转速不稳定或突然停止，可能由于电机故障或控制系统问题。

c.抛光液供应中断或压力异常，可能由于管道堵塞或泵故障。

d.机器噪音异常增大，可能由于内部部件磨损或松动。

e.电气系统出现跳闸或过载，可能由于电路短路或负载过大。

3.状态监测的操作要求：

a.操作人员应定期检查设备运行状态，包括视觉检查和听觉检查。

b.使用设备自带的监控仪表，实时监控设备各项参数。

c.定期进行设备维护，包括润滑、清洁和检查紧固件。

d.记录设备运行数据，包括温度、压力、转速等，以便分析趋势和潜在问题。

e.发现异常情况时，应立即停止操作，并按照故障排除流程进行处理。

f.对设备进行定期校准和检查，确保监测设备的准确性。

g.对操作人员进行定期培训，确保他们能够正确识别和报告设备状态。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的检测项