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特种气体系统工程技术规范

特种气体系统工程涉及高纯气体、腐蚀性气体、毒性气体及可燃性气体的储存、输送与分配，其技术规范需全面覆盖设计、材料选用、施工安装、检测验收及运行维护全生命周期，以确保系统安全性、可靠性与工艺匹配性。

一、系统设计基本要求

系统设计需以气体特性为核心依据，综合考虑工艺需求、安全规范及维护便利性。对于腐蚀性气体（如HCl、NF?），应采用耐腐蚀材料并优化管道坡度（≥0.5%），避免积液；毒性气体（如AsH?、PH?）需设置独立密闭间，配备泄漏监测与紧急排风（换气次数≥12次/小时）；可燃性气体（如H?、SiH?）管道需与其他气体管道物理隔离，间距≥300mm，且设置防静电