真空系统验证方案.pdfVIP

验证编号：YZ-3206-01

友变系疫验证方嗓

设备基本情况

设备编号：

设备名称：规格型号:

出厂编号：生产能力:

设备使用部门:

生产厂家:

目录

1、概述

2.验证目的

3.验证范围

4.验证内容

4.1.预确认

4.2.安装确认

4.3.运行确认

4.4.性能确认

4.5、异常情况处理程序

5.验证评定及分析

6.再验证周期

7、验证实施

确认所需的文

件资料：工程部

在设备购进、开

箱验收时建立

设备档案，整

理使用手册等

技术资料，保

存归档。见下

表：

序号

真空泵使用说明书

产品合格证

真空表证书

4.2.2.仪器、仪表校正：列出设备所有的仪表清单，确定校验周期并按规定程序进行校

验。其记录见附表:3

4.2.3.电供应标准：评价标准：电源380V、功率50HZ。并有良好的接地。管道材质:

评价标准：管道材质为无缝钢管。设备的安装调试记录见附表:4

4.2.4、设备安装

完毕后工程部对

起进行安装确认。

其记录见附表:5-

4.2.5、标准操

作规程的起草：由

工程部负责《水环

式真空泵标准养

试压日期

操作规程》、《水环

式真空泵维护保

养操作规程》的起

草工作。真空管道

作压实验，管

道系统作压试

验记录见下表：

试压对象

压表

试验压M（Pa）工作压M（Pa）

点分开始至点分终止

试压时间

保压时间

结论

试压人复核人

4.3.运行确认：水环式真空泵的运行严格按照《水环式真空泵标准养操作规程》

进行操作。真空泵的启动、运行情况：评价标准：正常启动、运行无异声。所有阀门启

闭情况及输送管道有无泄露：评价标准：阀门启动正常，管道无泄露。确认真空泵具有

设计要求的能，能够提供设计要求的真空度-（0.098）。各项目的检查标准见附表:6

检查人：检查日期：

4.3.1.水环式真空泵抽气速率的检测：计算系统容积L（）后，按操作规程启动运行真空

泵，测定将系统从大气压下抽至-0.098MPa所需的时间m（in）,计算系统实际的抽气速

率L（/min）,确定系统的运行条件，包括所要达到的最大真空度、负载条件下达到设计

要求的真空度所需要的时间等。

4.4、性能确认：进行性能确认的目的是试验并证明水环式真空泵对生产工艺的适用性。

水环式真空泵连续进行监测3天，每天查看真空表能否达到・0.098MPa,确认系统能重

复在正常的规定时间内达到要求的真空度。

4.4.1、真空系统的真空维持试验；用真空泵把系统抽到极限真空度无（负荷状态下

运行6小时，使系统真空度达到1.33Pa以下，保持一段时间后，用阀门把泵和系统隔离

开来，记录自