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研发设备故障报修流程
作为在半导体研发实验室泡了快十年的“设备老熟人”，我太清楚研发设备故障时那种抓心挠肝的滋味了——前一天还在跑关键测试数据，转天开机就“滴滴”报错；刚搭好的试验平台，传感器突然失灵；更要命的是，赶项目节点时精密光刻机“卡壳”，整个团队的进度都得跟着停摆。这些年摸爬滚打下来，我们实验室磨合出一套行之有效的故障报修流程，今天就掏心窝子跟大伙儿唠唠这套“实战版”流程，既有血泪经验，也有优化心得。
一、流程总述：为什么需要规范报修？
研发设备和普通办公设备不同，随便一台扫描电镜可能价值上千万，纳米级的精度容不得半点马虎；一台恒温恒湿箱故障，可能导致培养了半个月的样品失效；更关键的是
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