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半导体辅料制备工岗位应急处置操作规程

文件名称：半导体辅料制备工岗位应急处置操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

1.适用范围：本规程适用于半导体辅料制备工岗位在操作过程中可能发生的紧急情况及应急处置。

2.目的：为保障半导体辅料制备工岗位操作人员的人身安全和设备财产安全，确保生产秩序稳定，特制定本规程。

二、操作前的准备

1.劳动防护用品：操作人员必须穿戴符合国家标准的安全帽、工作服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩等个人防护装备。对于特殊操作，如腐蚀性化学品处理，还需佩戴防化服和防化手套。

2.设备检查：在开始操作前，应对所有设备进行彻底检查，包括但不限于搅拌机、过滤器、输送带、计量装置等。确保所有设备处于良好工作状态，无损坏、泄漏或异常现象。

3.环境要求：操作区域应保持清洁、整洁，通风良好，温度和湿度适宜。地面应防滑，不得有积水。操作区域应设有紧急疏散通道和应急设施，如消防器材、急救箱等。

4.物料准备：根据生产计划，提前准备好所需的半导体辅料，并检查其质量、数量是否符合要求。确保所有物料存放于通风干燥处，避免阳光直射和高温。

5.工艺流程确认：操作人员应熟悉所操作的工艺流程，了解每一步骤的注意事项和潜在风险。在操作前，应与班长或技术负责人确认工艺参数和操作步骤。

6.应急预案：操作人员应熟悉本岗位的应急预案，包括紧急情况下的疏散路线、报警方式、急救措施等。定期参加应急演练，提高应急处置能力。

7.培训与考核：新员工在入职后，应接受专业培训，熟悉本规程及操作流程。定期对操作人员进行技能考核，确保其具备应对突发事件的能力。

三、操作步骤

1.准备工作：穿戴好个人防护用品，检查设备状态，确认物料准备无误，熟悉操作流程。

2.设备启动：按照设备操作手册，依次启动搅拌机、过滤器、输送带等设备，确保设备正常运行。

3.物料添加：根据配方要求，精确计量辅料，缓慢加入搅拌机中，避免物料溅出。

4.搅拌混合：启动搅拌机，进行均匀搅拌，直至辅料完全混合，达到规定的混合度。

5.过滤分离：将混合好的物料通过过滤器进行过滤，去除杂质，确保辅料纯度。

6.输送储存：将过滤后的辅料通过输送带送至储存区域，注意防止物料受潮或污染。

7.检查与调整：定期检查设备运行状态，观察辅料质量，如有异常及时调整工艺参数。

8.清洁与维护：操作结束后，关闭设备，进行现场清洁，清理操作区域，对设备进行日常维护。

9.记录与报告：详细记录操作过程中的关键数据，如温度、压力、时间等，并及时向上级报告。

10.应急处理：若遇紧急情况，立即停止操作，按照应急预案进行处置，确保人员安全。

关键点：

-精确计量辅料，避免过量或不足。

-搅拌过程中注意观察，防止物料过热或分解。

-过滤过程需保证过滤效果，避免杂质混入。

-操作过程中保持警惕，注意设备运行状态和辅料质量。

-严格遵循操作规程，确保生产安全和产品质量。

四、设备状态

1.良好状态：

-设备运行平稳，无异常振动和噪音。

-各仪表读数稳定，显示正常。

-设备表面清洁，无油污、锈蚀或损坏。

-传动部分无异常磨损，轴承温度正常。

-电气系统无短路、漏电现象，安全防护装置齐全有效。

-操作面板指示灯显示正常，无错误代码。

2.异常状态：

-设备运行不稳定，出现振动或噪音增大。

-仪表读数波动或显示异常，如温度过高或过低。

-设备表面出现油污、锈蚀或损坏。

-传动部分磨损严重，轴承温度异常。

-电气系统出现短路、漏电，安全防护装置失效。

-操作面板指示灯异常闪烁或显示错误代码。

在操作过程中，应密切关注设备状态，一旦发现异常，应立即停止操作，进行初步检查。如无法自行处理，应立即通知维修人员。以下为常见异常及其可能原因：

-搅拌机异常：可能是搅拌桨损坏、轴承磨损或电机故障。

-过滤器堵塞：可能是物料中含有过多杂质或过滤器网孔损坏。

-输送带故障：可能是输送带磨损、张紧装置失效或电机故障。

-计量装置不准确：可能是传感器损坏或电子控制系统故障。

针对设备异常，应采取相应的预防措施，如定期检查、润滑、更换磨损部件等，以确保设备长期稳定运行。

五、测试与调整

1.测试方法：

-温度测试：使用温度计在设备关键部位进行温度检测，确保温度在正常工作范围内。

-压力测试：使用压力表检查设备压力是否稳定，特别是对于涉及化学反应或物料输送的设备。

-速度与转速测试：使用转速表或速度计检测设备的运行速度是否符合工艺要求。

-精度测试：对于计量设备，通过标准样品进行精度测试，确保计量准确性。

-噪音与振动