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化学气相沉积法：解锁高质量大面积石墨烯制备的关键密码

一、引言

1.1研究背景与意义

石墨烯，作为一种由单层碳原子紧密排列成二维蜂窝状晶格结构的新型碳材料，自2004年被英国曼彻斯特大学的安德烈?盖姆（AndreGeim）和康斯坦丁?诺沃肖洛夫（KonstantinNovoselov）首次成功分离以来，便因其独特而卓越的性能，在科学界和工业界引发了广泛且深入的关注。

从微观结构来看，石墨烯中的碳原子通过共价键相互连接，形成了高度稳定且规则的六边形网格。这种独特的原子排列方式赋予了石墨烯许多优异的物理化学性质。在电学性能方面，石墨烯具有极高的载流子迁移率，其电子迁移率可达200,000cm2/(V?s)以上，这一数值远远超过了传统半导体材料，如硅的电子迁移率（约1400cm2/(V?s)），使得石墨烯在高速电子器件领域展现出巨大的应用潜力，有望用于制造高性能的晶体管、集成电路等，以显著提升电子设备的运行速度和降低功耗。

在力学性能上，石墨烯是目前已知强度最高的材料之一，其理论杨氏模量可达1.0TPa，断裂强度约为130GPa，这意味着石墨烯能够承受极大的外力而不发生破裂，若将其应用于复合材料中，可大幅增强材料的强度和韧性，例如在航空航天领域，用于制造更轻、更坚固的飞行器结构部件，从而提高飞行器的性能和燃油效率。

热学性能方面，石墨烯具有出色的热导率，室温下其热导率高达5000W/(m?K)，这一特性使其在散热材料领域具有重要应用价值，可用于解决电子设备在运行过程中产生的散热问题，保证设备的稳定运行，延长设备使用寿命。

此外，石墨烯还具有良好的光学透明性，在可见光范围内，其透光率超过97%，这使其成为制备透明导电电极的理想材料，可广泛应用于触摸屏、太阳能电池、有机发光二极管等光电器件中。

由于石墨烯具备上述众多优异性能，其应用前景极为广阔，在能源、材料、生物医学、电子信息等诸多领域都展现出了巨大的应用潜力。在能源领域，石墨烯可用于开发高性能的锂离子电池电极材料，能够显著提高电池的充放电速度和循环寿命；也可应用于超级电容器，提高其能量密度和功率密度，为能源存储和转换提供更高效的解决方案。在生物医学领域，凭借其良好的生物相容性和大的比表面积，石墨烯可用于药物输送，实现药物的精准释放和高效治疗；还可用于制造生物传感器，实现对生物分子的高灵敏度检测，为疾病的早期诊断和治疗提供有力支持。在电子信息领域，石墨烯有望推动下一代高速、低功耗电子器件的发展，实现更快速、更高效的信息处理和传输，如制造高性能的晶体管、集成电路、柔性显示屏等，引领电子产品向轻薄、高性能方向发展。

然而，要实现石墨烯在各个领域的广泛应用，首先需要解决其大规模高质量制备的问题。目前，制备石墨烯的方法众多，包括机械剥离法、液相剥离法、氧化还原法、碳化硅裂解法以及化学气相沉积法（ChemicalVaporDeposition，CVD）等。其中，化学气相沉积法因其具有能够制备大面积、高质量石墨烯薄膜，可精确控制石墨烯的生长层数、质量和均匀性，且易于与现有半导体制造工艺兼容等优点，成为了目前制备石墨烯最具潜力和应用前景的方法之一，在石墨烯的工业化生产和应用研究中占据着关键地位。

通过化学气相沉积法，研究人员能够在多种基底表面生长出高质量的石墨烯，为石墨烯在电子器件、能源存储、传感器等领域的应用提供了坚实的材料基础。例如，在电子器件领域，利用化学气相沉积法在硅片等半导体基底上直接生长石墨烯，可有效减少石墨烯与基底之间的界面电阻，提高器件性能；在能源存储领域，在金属基底上生长的石墨烯可作为高性能电池电极材料，展现出优异的电化学性能。

因此，深入研究化学气相沉积法制备石墨烯的工艺技术，对于进一步提高石墨烯的质量和生产效率，降低生产成本，推动石墨烯的大规模应用具有重要的现实意义。同时，对化学气相沉积法制备石墨烯过程中的反应机理、生长动力学以及影响因素等进行系统研究，有助于揭示石墨烯生长的本质规律，为优化制备工艺提供理论依据，促进石墨烯材料科学与技术的不断发展和创新。

1.2国内外研究现状

近年来，国内外科研人员围绕化学气相沉积法制备石墨烯展开了大量深入且富有成效的研究工作，在多个方面取得了显著的进展。

在生长机理研究方面，美国哥伦比亚大学的JamesHone、KatayunBarmak课题组以及加拿大蒙特利尔大学RichardMartel课题组合作，在《Nature》上发表论文指出，微量氧是决定低压CVD生长石墨烯生长轨迹和质量的关键因素。他们发现无氧化学气相沉积（OF-CVD）合成具有快速和高重现性，其动力学可以用一个紧凑的模型来描述，而添加微量氧气会导致成核受到抑制和生长缓慢/不完全。这一研究成果为深入理解石墨烯生长过