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真空科学与技术学报第44卷第1期
42CHINESEJOURNALOFVACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY2024年1月
多级努森真空泵能效分析
1211*
柯杰坤蒙仕达苏宣合卢苇
(1.广西大学机械工程学院南宁530004;2.广西中烟工业有限责任公司南宁卷烟厂南宁530004)
EnergyEfficiencyAnalysisofMultistageKnudsenVacuumPump
1211*
KEJiekun,MENGShida,SUXuanhe,LUWei
(1.SchoolofMechanicalEngineering,GuangxiUniversity,Nanning530004,China;2.NanningCigaretteFactory,
ChinaTobaccoGuangxiIndustrialCo.,Ltd,Nanning530004,China)
AbstractComparedtotraditionalvacuumpumps,theKnudsenvacuumpump,basedonthethermal
transpirationeffect,ispaidlotsofattentiontobecauseoftheadvantagesofnomovingpartsandsimplestructure.
TheKnudsenvacuumpumpiscommonlyusedbytypeofmanyunitpumpsinseries.Accordingtotheenergy
consumptionandefficiencymodelofthesingle-stageKnudsenvacuumpumpandfocusingontherelationshipof
thenumberofstageswithheattransferandpressuredistribution,energyconsumption(heatrequirementsper
pumpedmolecule)andoperationefficiencymodelareestablishedformultistageKnudsenvacuumpumpwhenthe
pumpedgasmediumisintransitionflowregime.Furthermore,theinvestigationiscarriedoutoncorrelations
betweenheatrequirementsperpumpedmoleculeandoperatingefficiency
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