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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110512199A
(43)申请公布日
2019.11.29
(21)申请号201910917557.4
(22)申请日2019.09.26
(71)申请人苏州天承化工有限公司
地址215124江苏省苏州市吴中经济开发
区河东工业园尹中南路1088号4幢
(72)发明人邵永存
(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司
11332
代理人巩克栋
(51)Int.Cl.
C23C18/40(2006.01)
权利要求书1页说明书8页
(54)发明名称
一种化学镀铜液及其制备方法
(57)摘要
本发明提供了一种化学镀铜液及其制备方
法,所述化学镀铜液按质量浓度计,包括水溶性
二价铜盐1-10g/L、第一络合剂10-100g/L、第二
络合剂3-20g/L、还原剂2-50g/L和稳定剂0.001-
100mg/L。本发明所述化学镀铜液选用了特定的
第二络合剂,并且通过两种络合剂之间的相互配
合,协同增效,使得到的化学镀铜液不仅在施镀
过程中稳定无分解,而且其镀速也得到了大幅提
升。另外,本发明所述化学镀铜液施镀后得到的
镀铜膜平整均匀,能够满足功能性化学镀铜的要
求。
A
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9
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2
1
5
0
1
1
N
C
CN110512199A权利要求书1/1页
1.一种化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液按质量浓度计,包括如下组分:
所述第一络合剂选自酒石酸、酒石酸盐、柠檬酸、柠檬酸盐、N-羟乙基乙二胺三乙酸、N-
羟乙基乙二胺三乙酸盐、三乙醇胺、氨三乙酸或氨三乙酸盐中的任意一种或至少两种的组
合;
所述第二络合剂选自乙二胺四乙酸四钠、丁二酸、丁二酸钠或乙二胺中的任意一种或
至少两种的组合。
2.根据权利要求1所述的化学镀铜液,其特征在于,所述第一络合剂为酒石酸钾钠;
优选地,所述第二络合剂为乙二胺四乙酸四钠;
优选地,所述第一络合剂与第二络合剂的质量浓度比为(1-20):1。
3.根据权利要求1或2所述的化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液还包括氢氧化
钠和/或氢氧化钾;
优选地,所述化学镀铜液的pH为12-13。
4.根据权利要求1-3所述的化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液中,二价铜离子
的质量浓度为0.1-5g/L;
优选地,所述水溶性二价铜盐选自氯化铜、五水硫酸铜、硝酸铜、酒石酸铜或醋酸铜中
的任意一种或至少两种的组合,优选为五水硫酸铜。
5.根据权利要求1-4所述的化学镀铜液,其特征在于,所述还原剂为甲醛、次磷酸钠或
水合乙醛酸中的任意一种或至少两种的组合,优选为甲醛。
6.根据权利要求1-5所述的化学镀铜液,其特征在于,所述稳定剂选自联吡啶、氰化钠、
氰化钾、四氰基镍(II)酸钾水合物、亚铁氰化钾、硫脲、硫脲衍生物、过硫酸盐或硫代硫酸盐
中的任意一种或至少两种的组合,优选为亚铁氰化钾。
7.一种化学镀铜液的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括将如权利要求1-6任一
项所述化学镀铜液中的各组分加入水中混合即可。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:先将水溶性二价
铜盐与水进行第一次混合,再依次与第一络合剂、第二络合剂、稳定剂和还原剂进行第二次
混合,得到所述化学镀铜液。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在第二次混合
后利用氢氧化钠和/或氢氧化钾调节pH至12-13。
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