镀膜压强控制仪操作指南:工作方式与参数设置说明.pdfVIP

镀膜压强控制仪操作指南:工作方式与参数设置说明.pdf

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两种工作方式

1压强控制方式

控制真空系统稳定在设定的压强附近

控制精度5%

两种工作及连接方式(控制气体注入量,控制泵有效抽速)

需连接测量规管

2流量调节方式

通过控制膜片开关位置间接控制流量,不能直接测量流量

出厂设定是:压差1个气压,室温,空气。对其他情况有偏差

控制阀VDM005-X

•电磁驱动,陶瓷默片阀

•控制范围10-3-100mbarls-1

•全开到全关150ms

•正在改进中

•步级马达驱动

-6-1

•控制范围5.10-1250mbarls

•全开到全关时间3sec

•可直接通过接口VCA200-Z由计算机或

PLC控制

一次只能连接控制一个阀

可通过模拟输出口0-10v控制其它公司或型号

的阀门

VCC500连接真空规管连接

-一次只能连接一个规管

-可连接英福康公司生产的各种型号规管,也可连接输出信号为0-10v的其它型号规管

数字输入/输出

数字量控制工作方式转换或控制阀门开关大小

数字量输出阀门及规管状态或位置

模拟输入输出

模拟量(0-10v)输入压强控制设置点

模拟量(0-10V)输入流量控制设置点

模拟量(0-10v)输出压强大小

模拟量(0-10V)输出阀门控制信号

RS232或RS485

计算机连接控制口

工作方式

STDINV

在此菜单下更改压强设置点

Min及Max一般情况下与规管的测量

量程相对应,改动后,模拟输出的信

号有变化

输入后需存入

这个设定值决定当VCC500的电源停电后开机将采取的动作

自动导引ON

自动导引off

VCC500菜单说明Autoreset自动复位

这个设定值决定在下列情况下VCC500将执行的动作:

●VCC500电源ON

●VCC500在停电后恢复运行

●工作模式从压强转变为流量,然后回到压强

●讯号《外关闭》(DI3)动作

●讯号《外开启》(DI4)动作

自动复位ON

任何以上情况,VCC500在阀当前位置为0(关闭)的条件下恢复运行。

自动复位OFF

任何以上情况,VCC500在阀回到情况发生前位置的条件下恢复运行

90%的应用问题集中于此

设定值与泵速,真空室大小,管道长短,真空计位置等有关

VCC500自动控制器型式Auto1至Auto99(正比/积分控制器)和PID(正比/积分/

微分控制器)。

Auto最适用于快过程最佳化,PID控制器型式用于与快响应结合的好的控制至一个设点

(标称值)的要求

Auto按下面的原理调节:

1慢反应

99快反应

经验值:

大室小抽速慢反应选50-75

快反应选76-99

小室大抽速慢反应选1-26

快反

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