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ICS71.040.30
CCSG68
团体标准
T/CSTMXXXXX-202X
光刻胶用试剂中金属元素含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
Testmethodforthecontentofmetalelementsinthereagentsfor
photoresist—Inductivelycoupledplasmamassspectrometry
（征求意见稿）
202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施
中关村材料试验技术联盟发布
T/CSTMXXXXX-XXXX
前 言
本文件参照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T
20001.10—2014《标准编写规则第10部分：产品标准》的规定起草。
请注意本文件的某些内容有可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国材料与试验标准化委员会化工材料标准化领域委员会（CSTM/FC05）提出。
本文件由中国材料与试验标准化委员会化工材料领域化学试剂标准化技术委员会
（CSTM/FC05/TC04）归口。
I
T/CSTMXXXXX-XXXX
光刻胶用试剂中金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法
1范围
本文件规定了电感耦合等离子体质谱法测定光刻胶用试剂中金属元素含量的方法。
本文件适用于光刻胶成品、溶剂及相近浓度的树脂溶液中钠（Na）镁（Mg）铝（Al）钾（K）钙
（Ca）铬（Cr）锰（Mn）铁（Fe）钴（Co）镍（Ni）铜（Cu）锌（Zn）镉（Cd）铅（Pb）等金属元
素含量的检测，检测范围0.1μg/kg～1.0mg/kg，精密度5%。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本
文件。
GB/T11446.1电子级水
GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T34826四极杆电感耦合等离子体质谱仪性能的测定方法
GB/T39486化学试剂电感耦合等离子体质谱分析方法通则
JJF1159四极杆电感耦合等离子体质谱仪校准规范
SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则
3术语和定义
GB/T39486界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
光刻胶溶剂(PhotoresistSolvent)
溶解光刻胶中各种成分所用的有机试剂，通常为高纯有机试剂。
3.2
质谱干扰(MassSpectrometryInterference)
12+
一个或多个原子离子与待测元素离子具有相近的质荷比而引起的干扰。主要指C对待测元素离子
的干扰。
3.3
多原子离子干扰(PolyatomicIonInterference)
由两个或两个以上原子结合而成的复合离子，与待测元素离子具有相近的质荷比所引起的干扰。主
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