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ICS71.100.20CCSL90

CCGA

中国工业气体工业协会团体标准

T/CCGA30009—2025

电子级混合气体配制技术要求

Technicalrequirementsforpreparationofelectronicgasesmixture

2025-04-25发布2025-05-25实施

中国工业气体工业协会发布

T/CCGA30009—2025

I

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4基本要求 2

5设备设施要求 2

6技术要求 2

7配制要求 3

8标志、包装及使用要求 3

参考文献 4

T/CCGA30009—2025

II

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国工业气体工业协会提出并归口。

本文件起草单位：北京首钢气体有限公司、中国工业气体工业协会、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国电子气体及材料百人会。

本文件主要起草人：马银川、李晓、洑春干、王林章、柳彤、张净普、杨金山、鲍光强、杜卫东、吴国忠。

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1

电子级混合气体配制技术要求

1范围

本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求，标志、包装及使用要求。

本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T4844纯氦、高纯氦和超纯氦

GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T11640铝合金无缝气瓶

GB/T15382气瓶阀通用技术要求

GB/T16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

GB/T34526-2017混合气体气瓶充装规定

GB/T34710（所有部分）混合气体的分类

GB/T43072气瓶追溯体系建设实施指南

GB50646特种气体系统工程技术标准

TSG07特种设备生产和充装单位许可规则

TSG23气瓶安全技术规程

T/CCGA10013实验室气体安全导则

T/CCGA20006气瓶安全使用技术规定

T/CCGA90001氧气和富氧场所的火灾危险

T/CCGA90002惰性气体或缺氧场所的危险

T/CCGA90003混合气体的分类：氧化性分类

3术语和定义

GB/T34526-2017、GB/T34710（所有部分）、T/CCGA90003界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

电子级混合气体electronicgasesmixture

含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的电子级气体。3.2

EP管electro-polishedpipe

经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少，表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。

注：[来源：GB50646—2011，2.0.34]3.3

氧清洁oxygencleaning

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2

清洁与氧气或富氧气体接触的设备、零件及通道表面，使其去除油、脂、非挥发性残留物、颗粒和纤维等污染物。

注：脱脂是氧清洁的一种或一个环节。

3.4

氧兼容oxygencompatibility

在特定压力、温度下，材料与氧和潜在点火源安全共存的能力。

4基本要求

4.1人员要求

4.1.1所有电子级混合气体配制人员及相关人员均应经培训考核合格，掌握电子级混合气体配制的技术和安全要求。

4.1.2电子级混合气体配制人员及配制前后检查人员，应取得特种设备作业人员资格证书。

4.1.3质量安全员、质量安全总监应按要求，经过专业技术培训合格，掌握质量相关法规标准，落实产品质量安全责任的行为及其监督管理。

4.1.4应有与充