硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdfVIP

硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

警告——使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问题。使用

者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了硅外延用三氯氢硅中锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、

镍、铜、锌、镓、钼、砷、铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。

本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。

表1各元素测定范围

元素测定范围（质量浓度ng/g）

锂0.01～20

硼0.01～20

钠0.01～20

镁0.01～20

铝0.01～20

钾0.01～20

钙0.01～20

磷0.01～20

钛0.01～20

钒0.005～20

铬0.01～20

锰0.01～20

铁0.01～20

钴0.005～20

镍0.01～20

铜0.01～20

锌0.01～20

镓0.01～20

钼0.01～20

砷0.005～20

铅0.01～20

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文

件。

GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T3723