印刷电子设备 接触式印刷刚性母版 第二部分：印版图案尺寸测量方法.pdfVIP

印刷电子设备接触式印刷刚性母版第二部分：印版图案尺寸测量

方法

1范围

本文件规定了与刚性印版上特征的关键尺寸以及特征套准精度相关的测量术语和方法。

本文件定义了一般临界尺寸，以评估印版母版上特征的形状精度。为了评估印版上特征的套准精度，

指定了印版的套准标记规格。为设备制造商、印刷母版制造商和印刷母版制造设备供应商建立了测量印

版关键尺寸和套准精度的通用计量程序。根据用户和供应商之间的协议进行测量的测量项，应按照本文

件中给出的测量方法进行测量。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

印版platemaster

承载待印刷图形的设备。

注：印版上的图文部分可以是凸起于表面（浮雕）或是低于表面的雕刻。

纵向machinedirection

MD

基材运动的方向。

横向crossdirection

与基材的纵向成直角的方向。

图案边缘检测方法patternedgedetectionmethod

通过计算机算法确定给定图案边缘位置的方法。

特征feature

在单个连续边界内与边界外明显不同的区域。

注1：如果在印刷时该特征的长度方向与横向对齐，则该特征被称为“CD特征”。

注2：如果在印刷时该特征的长度方向与纵向对齐，则该特征被称为“MD特征”。

标称特征nominalfeature

预期的或设计的特征。

1

实际特征actualfeature

印版上加工形成的特征。

临界尺寸criticaldimension

电子设备/电路制造过程中能够形成的、且对后续的合格评定有重要意义的几何特征尺寸（互连线

的宽度、触点宽度、沟槽宽度等）。

1-D合格特征1-Dqualificationfeatures

可通过单向参数进行合格评定的特征。

3.9.1

特征宽度featurewidth

印刷在基底上的特征的宽度。

注：一般情况下，特征宽度是针对线条和间隔图案进行测量的，用线条宽度或间隔宽度来表示。

3.9.2

中心距pitch

两个重复放置的特征中心之间的距离。

3.9.3

线边缘粗糙度lineedgeroughness

LER

特征边缘相对于线性拟合特征边缘的垂直点对点偏差。

3.9.4

线宽粗糙度linewidthroughness

点对点线宽相对于指定线宽平均宽度的偏差。

2-D合格特征2-Dqualificationfeature

通过基于面积的合格评定参数进行评定的特征。

3.10.1

触点contact

长宽比在0.5到2之间的矩形特征。

3.10.2

圆角cornerrounding

实际特征拐角与标称特征拐角之间的偏差。

3.10.3

面积增益areagain

实际特征轮廓超出标称特征轮廓的面积。

3.10.4

面积损失arealoss

位于标称特征轮廓内但在实际特征轮廓之外的面积。

3.10.5

面积差值areadifference

特征面积增益减去特征面积损失所得的值。

3.10.6

2

面积偏差areadeviation

特征面积增益与特征面积损失数值之和。

横截面合格特征cross-sectionalqualificationfeature

可通过横截面合格评定参数进行评定的特征。

3.11.1

特征高度featureheight

特征深度featuredepth

垂直于参照平面的特征尺寸。

3.11.2

特征模型featuremodel

具有明确参数（如长度、宽度、高度、中心等）的固体几何形状，用于近