制造工艺仿真：光刻仿真_（4）.曝光技术与仿真.docx

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曝光技术与仿真

在光刻工艺中，曝光技术是至关重要的一步，它决定了最终芯片的图案精度和良率。本节将详细介绍光刻工艺中的曝光技术及其仿真的原理和方法。我们将从曝光的基本原理、曝光系统的主要组件、不同类型的曝光技术（如接触式、接近式和投影式曝光）以及曝光仿真软件的使用等方面进行讲解。

曝光的基本原理

光刻工艺中的曝光是指使用特定波长的光源将光刻胶上的图案转移到基板上的过程。这个过程通常分为以下几个步骤：

光刻胶涂布：将光刻胶均匀地涂布在基板上。

曝光：通过掩膜将图案投影到光刻胶上，使光刻胶的某些区域发生变化。

显影：使用化学溶液将曝光后的光刻胶进行显影，去除未