Ⅲ族氮化物半导体极化场调控:原理、方法与应用进展
一、引言
1.1研究背景与意义
在半导体材料的发展历程中,III族氮化物半导体凭借其独特的性能优势,逐渐成为了研究的焦点与热点。III族氮化物半导体主要包含氮化铝(AlN)、氮化镓(GaN)、氮化铟(InN)及其三元合金如铝镓氮(AlGaN)、铟镓氮(InGaN)等。这些材料具有宽禁带、高电子迁移率、高热导率、高击穿电场等卓越的物理性质,在光电子、电力电子、射频电子等众多领域展现出了巨大的应用潜力,成为推动现代科技进步的关键材料之一。
从光电子领域来看,III族氮化物半导体的直接带隙特性使其在发光二极管(LED)、激光二极管(LD)等器
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