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电子特气基础知识

2第一章：电子特种气体基础知识1.电子特种气体分类：可燃气体SiH4;CH4;PH3;B2H6;AsH3;GeH4;H2;CH2F2;SiH2Cl2;SiHCl3…….氧化性气体O2;NF3;N2O;Cl2;ClF3;NO……腐蚀性气体HCl;HBr;BCl3;BF3;SiCl4;NH3;WF6;Cl2;SiHCl3;SiH2Cl2……惰性气体N2;He;Ar;Kr;Xe;CF4;C2F6;C3F8;CHF3……2.电子特种气体的危害一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体都有一种或两种以上的危害性．

3Chapter1:ESGBasicKnowledge特种气体的主要危险和危害性如下:压力毒性腐蚀性自燃性燃烧性氧化性窒息性深冷性

5Chapter1:ESGBasicKnowledge特种气体毒性比较表

6Chapter1:ESGBasicKnowledge中毒方式呼吸皮肤吸收消化系统控制中毒的方法控制库存充分通风正常通风（开放式，自然通风）Emergency（风机或排风扇强制通风）监测系统环境监测器医疗检测个人防护用具废物处理

7Chapter1:ESGBasicKnowledge腐蚀性气体对人体组织器官的破坏：皮肤眼睛呼吸道组织器官腐蚀性气体中毒的途径：呼吸皮肤接触消化系统分类：酸性:HCl;HBr;Cl2;BF3;BCl3;SO2碱性:NH3

8Chapter1:ESGBasicKnowledge自燃气体：定义:同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质．自燃物质的自燃点通常低于环境温度．例如:Disilane乙硅烷:低于54°C(130°F)Silane硅烷:极低Phosphine磷化氢:100°C(212°F)Diborane乙硼烷：40to50°C(104-122°F)控制方法:同燃烧气体,另外还有：可能情况下用惰性气体稀释控制库存采取流量控制并采用充分的通风系统设计防止回流

10Chapter1:ESGBasicKnowledge可燃气体的燃烧范围

12Chapter1:ESGBasicKnowledge窒息性气体：普通窒息性气体(惰性气体)定义:毒性很低或根本无毒，但能取代空气，导致氧气缺乏的气体，也称做惰性气体或不燃气体当氧含量少于１２％时，会导致快速失去知觉甚至死亡.在正常大气压力下,氧气浓度不应低于19.5%例如:NitrogenN2ArgonArHeliumHeSulfurHexafluoride,etc.SF6

14Chapter1:ESGBasicKnowledge氧气含量不足6%:立即失去知觉在所有事例中:受害人从未意识到存在风险假如大气氧气含量只有10~18%:受害者只感到一般的不舒服并没有感觉到缺氧直到开始窒息但是

15Chapter1:ESGBasicKnowledge化学窒息性气体：定义:１．能够阻止血液携带氧气；或

２．能够阻碍氧气从肺部运输到组织器官，或

３．能够阻止组织器官吸收氧气，尽管血液中含氧丰富．例如:CarbonMonoxideCOHydrogenSulfideH2SHydrogencyanideHCN深冷气体：定义:是指在大气压力下沸点低于2380F(-1500C)的液化气体例如:Argon:ArHelium:HeCarbonMonoxide:COCarbonDioxide:CO2Hydrogen:H2Nitrogen:N2Oxygen:O2

16Chapter1:ESGBasicKnowledge危害性：能快速冻结人体组织器官造成伤害.能使许多物质例如：碳钢，塑料和橡胶脆化，甚至由于张力增大而破裂．.蒸发产生大量气体，压力增加造成密闭容器的破裂，甚至爆炸．控制方法：液化气体压力容器通常用多个压力泄放装置进行保护，一般以压力泄放阀为主要保护，爆破片为第二保护．密闭空间要进行充分通风，特别对于液氧和液氢．

17Chapter1:ESGBasicKnowledge腐蚀性液体：性质类似于腐蚀性气体，除了蒸汽压力低于15psig的液体．例如:DichlorosilaneSiH2Cl2;DCSTrichlorosilaneSiHCl3SiliconTetrachlorideSiCl4注:1.SiH