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硒化氢合成工艺优化与气体标准物质的精准制备研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，半导体工业已成为现代电子产业的核心支柱。在半导体工业生产中，几乎各个工序都会用到超高纯气体，这些气体的纯净度对器件的质量起着决定性作用。在众多超纯气体中，硒化氢（H_2Se）作为生产半导体材料的重要原材料和还原气，具有不可替代的地位。它主要用于生产半导体器件时形成P-N结、保护层和隔离层，在国防尖端、航天航空等领域有着至关重要的应用，是一种急需的高纯气体。

近年来，全球半导体市场规模持续扩大，根据市场研究机构的数据，2023年全球半导体市场规模达到了约6000亿美元，预计到2030年