准原位X射线光电子能谱法分析薄膜半导体材料的环境失效行为.pdfVIP

第15卷第1期中国无机分析化学Vol.15，No.1

2025年1月ChineseJournalofInorganicAnalyticalChemistry150~158

doi:10.20236/j.CJIAC.2025.01.015

李夏，郭佳睿，庄敏，等.准原位X射线光电子能谱法分析薄膜半导体材料的环境失效行为［J］.中国无机分析化学，2025，15（1）：

150-158.

LIXia，GUOJiarui，ZHUANGMin，etal.AnalysisoftheEnvironmentalFailureBehaviorofThinfilmSemiconductorMaterials

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UsinginQuasiinSituXrayPhotoelectronSpectroscopy［J］.ChineseJournalofInorganicAnalyticalChemistry，2025，15（1）：150

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158.

准原位X射线光电子能谱法分析薄膜半导体

材料的环境失效行为

121111*

李夏郭佳睿庄敏陈瑜白杰严楷

（1.广东工业大学分析测试中心，广州510006；

2.广东工业大学材料与能源学院，广州510006）

摘要处于使用和贮存状态的薄膜半导体材料因其经历的自然和诱导环境因素而引起器件的性能退化

甚至失效，进而影响器件甚至整个系统的可靠性。目前对于环境失效行为的研究方法都很难捕获实时或准

实时的表面成分及价态信息，难以判断其早期失效的行为特性以及深入掌握其失效机理。利用原位及准原

位X射线光电子能谱（XPS）分析技术，通过调控环境失效因素研究薄膜半导体材料表界面成分、化学态以

及电子结构的变化规律，揭示环境失效行为与失效机理，建立薄膜半导体相关材料及器件环境失效行为的

分析新方法。结合准原位XPS对Au/Ni/Cu/HfO2薄膜材料热过应力失效行为进行研究，结果表明：环境

气氛中的氧气能够进一步诱导体相内Ni、Cu原子向表面层的扩散。热处理温度升高引起氧元素吸附模式

由起初的物理吸附转变为化学吸附，并在Au层表面内反应产生NiO、NiO以及CuO，导致薄膜材料表面

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成分的变化，表明利用准原位XPS法能够获取薄膜半导体材料准实时的表面成分及化学态信息，能更系统

地剖析早期失效行为特性并分析其失效机理，对设备设计与生产过程中薄膜半导体材料体系的合理选择、

设计改进以及提高电子芯片的环境适应性与可靠性具有重要意义。

关键词准原位X射线光电子能谱；环境失效；薄膜半导体；表面分析；扩散机理

要点

1）准原位X射线光电子能谱分析方法能够获材料准实时的表面成分及化学态信息。

2）建立薄膜半导体相关材料及器件环境失效的准原位X射线光电子能谱分析方法。

3）热过应力