《传感器原理与应用》_chap5.pptxVIP

第五章压电传感器;;5.1压电效应原理

;在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。

压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。

压电材料的主要特性参数有：

①压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出灵敏度。

②弹性常数：压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。;③介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关，而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。

④机械耦合系数：它的意义是，在压电效应中，转换输出能量(如电能)与输入能量(如机械能)之比的平方根，这是衡量压电材料机—电能量转换效率的一个重要参数。

⑤电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。

⑥居里点温度：它是指压电材料开始丧失压电特性的温度。;5.1.1石英晶体

石英晶体化学式为SiO2，是单晶体结构。天然结构的石英晶体外形，它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的轴x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。;若从晶体上沿y方向切下一块如图所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力Fx时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷，其大小为

qx=d11Fx

式中，d11为x方向受力的压电系数。

若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为

式中：d12——y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性，有d12=-d11；

a、b——晶体切片的长度和厚度。;5.1.2压电陶瓷

压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴。在无外电场作用下，电畴在晶体中的分布杂乱无章，其各自的极化效应被抵消，压电陶瓷内极化强度为零。故原始的压电陶瓷呈中性，。当陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有越多的电畴转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本不变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。;极化处理后陶瓷材料内部存在有很强的剩余极化，当陶瓷材料受到外力作用时，电畴的界限发生移动，电畴发生偏转，从而引起剩余极化强度的变化，因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应，将机械能转变为电能的现象，就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成如下的正比关系：

d是压电陶瓷的压电系数，F是作用力。

压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化，从而使其压电特性减弱。

;压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多，所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关，它的参数也随时间变化，从而使其压电特性减弱。

最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡(BaTiO3)。它是由碳酸钡和二氧化钛按1∶1摩尔分子比例混合后烧结而成的。它的压电系数约为石英的50倍，但居里点温度只有115℃，使用温度不超过70℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。

目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅(PZT)系列，它是由钛酸铅(PbTiO3)和锆酸铅(PbZrO3)组成的(Pb(ZrTi)O3)。当居里点在300℃以上时，性能稳定，有较高的介电常数和压电系数。

;5.1.3压电式传感器

将利用压电材料的各种物理效应（应变敏感、热敏感、声敏感以及质量敏感等）构成的传感器都叫做压电传感器。目前应用最多的是基于力—电转换型的压电传感器，包括压电加速度传感器、压电力传感器、压电式压力传感器等。

由于外力作用而在压电材料上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的，因此压电式传感器不能用于静态测量。压电材料在交变力的作用下，电荷