原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
直拉单晶硅工艺技术
主讲教师：裴迪石油化工学院
:
令直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。
令炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。
令炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。
令籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉内，两轴具有转动和升降的机械传动系统。
令下轴顶端装有石英坩埚，埚内可装入多晶硅料以供拉晶用
直拉单晶炉的需求
为了提高生产效率，降低成本，也为了保证器件参数的一致性、可靠性，都希望直拉单晶大直径化，设备控制高度自动化。目前世界上已制造出了装料量达400kg以上，单晶直径达300m
文档评论（0）