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面向FOUNDRY的MEMS薄膜力学参数在线测试：技术、应用与创新

一、引言

1.1研究背景

1.1.1MEMS技术发展现状

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems）技术，即微机电系统技术，作为多学科交叉融合的前沿领域，近年来在全球范围内取得了迅猛发展。它将微电子技术与微机械加工技术相结合，实现了微型化、智能化和多功能化的器件与系统制造，其应用范围涵盖了众多领域，对现代科技和工业发展产生了深远影响。

在航空航天领域，MEMS技术发挥着不可或缺的作用。以MEMS惯性传感器为例，其被广泛应用于飞行器的导航与姿态控制中。在卫星上，MEMS陀螺仪和加速