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摘要
随着电子芯片元件持续向高集成度、微型化及大功率方向迭代升级,芯片运
行过程中产生的高热流密度热量积聚问题日益凸显。如果这些热量不能被有效散
发,会严重影响电子芯片的性能和工作寿命,良好的散热技术是解决芯片散热难
题、提升电子设备整体性能的关键。为确保高功率电子芯片在运行状态下具有高
效的热管理性能和卓越的稳定性,本文提出了一种伞状浮动阀压电泵驱动环形叶
脉流道散热系统,设计了单、双入口伞状浮动阀压电泵,通过试验获得了优化的
压电泵结构参数,设计了环形叶脉流道热沉并搭建了压电泵驱动环形叶脉流道散
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