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25.光电二极管的版图设计与仿真
25.1版图设计的基本概念
版图设计是半导体器件设计中的一个重要环节,它是将电路设计中的各个元件及其互连以图形化的方式表示在晶圆上的过程。对于光电二极管,版图设计不仅需要考虑器件的工作原理,还要确保其在实际制造中的可行性。光电二极管的版图设计通常包括以下几个步骤:
定义器件结构:确定光电二极管的类型(如p-i-n光电二极管、肖特基光电二极管等),并定义其各个层的材料和厚度。
绘制图形:使用版图设计软件(如CadenceVirtuoso、L-edit等)绘制器件的各个部分,包括p区、n区、电极等。
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