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数值方法与计算物理
在半导体器件仿真中,数值方法与计算物理是不可或缺的一部分。这一节将详细介绍数值方法的基本原理及其在半导体器件仿真中的应用,特别是针对纳米器件的仿真。我们将讨论常见的数值方法,如有限差分法、有限元法和蒙特卡洛方法,并通过具体例子来说明这些方法如何在实际仿真中发挥作用。
1.有限差分法(FiniteDifferenceMethod,FDM)
有限差分法是一种将连续的数学模型转化为离散形式的方法,通过在离散点上近似求解偏微分方程。在半导体器件仿真中,FDM广泛用于求解泊松方程、连续性方程等。
1.1基本原理
有限差分法的基本原理
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