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9.器件模型建立与参数提取
在半导体器件仿真中,器件模型的建立和参数提取是至关重要的步骤。这些步骤不仅决定了仿真结果的准确性,还影响了对器件性能的深入理解。本节将详细讨论器件模型的建立方法以及参数提取的技术细节。
9.1器件模型的分类
在开始建立器件模型之前,首先需要了解器件模型的分类。根据建模的复杂程度和应用范围,器件模型可以分为以下几类:
9.1.1物理模型
物理模型基于器件的物理结构和工作原理,通过求解连续性方程、泊松方程等物理方程来描述器件的行为。这些模型通常非常复杂,但能够提供详细的物理机制和器件性能的预测。
9.1.2经验模型
经验模
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