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•98•测控技术数据采集与处理
2019年第38卷第1期
传输/反射法中样品位置及相关误差的修正
严淋，庞露，赵会敏，谢国治，陈将伟
(南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院，江苏南京210023)
摘要:探讨传输/反射法测量时，修正样品定位误差的一种可能方法。考虑到理想情况下，样品两侧散射
系数与S22、12与分,测量的两端的散射系数S。样品两侧的散射系
数S时，搜寻s22差最小的位置，作为样品的确切位置，来减小误差。测量实，该方法可有
效修正定位误差，同时,„与s22反映了误差的大小，可用来实的合理性。该研
究有助于深化对传输/反射法测量误差的认识，进一步探讨修正误差的可。
关键词：传输/反射法；误差；样品位置；散射系数
中图分类号:TM931;TP706文献标识码：A文章编号：1000-8829(2019)01-0098-04
doi：10.19708/j.ckjs.2019.01.021
ModificationsofSamplePositionandCorrespondingErrorin
Transmission/ReflectionMethod
YANLin,PANGLu,ZHAOHui-min,XIEGuo-zhi,CHENJiang-wei
(CollegeofElectronicandOpticalEngineeringCollegeofMicroelectronics,NanjingUniversityofPostsand
Telecounications,Nanjing210023,China)
Abstract：Apossiblewaytocorrectthepositioningerrorsofsamplesduringtransmission/reflectionmeasure
mentisdiscussed.Consideringtheidealsituation,thescatteringcoefficientsof5nand^22,^12and^2tonboth
sidesofthesampleareequaltoeachother,respectively,anditisproposedthatthesamplepositioncanbere
confirmedbyartificiallyadjustingsamplepositiontofindthesmallestdifferencebetweenSnandS22whenderi
ving
SfrothemeasuredscatteringcoefficientS°atbothendsofthecoaxialfixture,thenthecorrespondinger
rorcanbereduced.Measurementexamplesindicatethatthismethodcan
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