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复合型微细电火花加工装置与工艺：原理、构建及应用探究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代制造业向微型化、精密化方向飞速发展，对微小尺寸零件及复杂结构的加工需求日益迫切。在电子信息、生物医学、航空航天等众多前沿领域，微型零件的应用愈发广泛，例如微机电系统（MEMS）中的微型传感器、执行器，生物医学中的微流控芯片、微型医疗器械，航空航天中的微小零部件等。这些微型零件的制造精度和质量，直接关乎整个系统的性能与可靠性。传统加工方法在面对微小尺寸、复杂形状以及高硬度材料的加工时，常常遭遇诸多瓶颈，如切削力易导致零件变形、刀具磨损严重、加工精度难以保障等问题。

电火花加工技术作为一种非接触式特种加工方法，凭借其独特优势，在微小尺寸零件加工领域崭露头角。它利用工具电极和工件之间脉冲性火花放电时产生的电蚀现象，对工件材料进行蚀除，从而实现加工目的。这一技术不受材料硬度、强度等物理性能的限制，能够加工各种导电材料，包括硬质合金、淬火钢等传统加工方法难以处理的材料，还可加工具有复杂形状的型孔、型腔以及深细孔、异形孔、深槽、窄缝等结构。然而，随着对加工精度和效率要求的不断攀升，单一的微细电火花加工技术逐渐显露出局限性，如加工效率较低、电极损耗较大、加工表面质量有待提高等。

复合型微细电火花加工技术应运而生，它将多种加工方法有机融合，取长补短，为突破传统微细电火花加工的瓶颈提供了新的思路和途径。通过与超声加工、电解加工、激光加工等技术复合，复合型微细电火花加工技术能够显著改善加工过程中的放电状态，增强排屑效果，降低电极损耗，提高加工精度和表面质量，在微机械制造领域展现出广阔的应用前景。例如，超声复合微细电火花加工技术，利用超声频振动使电极与工件之间产生相对运动，能够有效避免短路、断路及电弧脉冲的出现，提高加工精度与效率；微细电解复合电火花加工技术，则可在加工过程中对工件表面进行电解抛光，降低表面粗糙度，提高表面质量。

研究复合型微细电火花加工装置及工艺具有重大的理论和实际意义。从理论层面来看，深入探究复合型微细电火花加工的机理、工艺参数优化、多场耦合作用等问题，有助于丰富和完善微细加工理论体系，为微细加工技术的发展提供坚实的理论支撑。从实际应用角度出发，该技术的研究成果能够直接应用于微机电系统、生物医学、航空航天等领域的微小零件制造，显著提高产品质量和生产效率，推动相关产业的技术进步与创新发展，进而产生巨大的经济效益和社会效益。

1.2国内外研究现状

国外在复合型微细电火花加工技术领域的研究起步较早，取得了一系列具有重要影响力的成果。日本作为制造业强国，在该领域一直处于领先地位。东京大学的增泽隆久团队早在20世纪80年代末，就率先采用微细电火花加工技术在线制备微冲裁模具，并成功在不锈钢薄片上冲裁出长方形微孔。此后，他们持续深耕，开发出微细电火花铣削CAD/CAM系统，借助等损耗电极补偿技术和分层铣削方法，实现了复杂微细三维结构的电火花加工，大幅提升了加工精度和效率，为微冲裁模具的制造提供了关键技术支持。丰田工业大学的毛利尚武等学者也开展了深入研究，其研制的机床在微细电火花加工方面性能卓越，能够实现高精度的微冲裁模具加工，在微细轴和微细孔的加工上成果斐然，代表了该研究方向的国际前沿水平。此外，印度Madras工业大学的V1S.R.MURTI和P.K.PHILIP在1986年使用扫描电子显微镜，对火花间隙中超声辐射对电火花加工碎屑的影响展开详细研究。其实验结果显示，在超声作用下，碎屑颗粒的椭圆度减小，颗粒尺寸、铜电极的蚀除量和碎屑碰撞的剧烈程度均有明显增加，为超声复合微细电火花加工技术的发展提供了理论依据。

国内对复合型微细电火花加工技术的研究虽然起步相对较晚，但近年来发展迅速，众多科研机构和高校取得了不少令人瞩目的成果。哈尔滨工业大学在微细电火花加工技术研究方面成绩卓著，已成功加工出10μm的微细轴和15μm的微细孔，达到世界先进水平，其微细电火花加工机床已实现商品化。该校还开发了微细电火花铣削专用CAD/CAM系统，能够针对微三维结构的形状选择最优加工路径，确保自由曲面的加工精度，为微冲裁模具的复杂曲面加工提供了有效解决方案。此外，哈尔滨工业大学研制的微细电火花加工装置集成了线电极磨削（WEDG）装置、超声波换能器及微细电解循环液模块，可实现微细电火花加工、微细超声加工及微细电解的复合加工。南京航空航天大学在上世纪九十年代，宋小中博士利用以步进电机为执行件的微细电火花加工装置，进行了微孔、微电极、微细轴类等零件的加工实验，当时加工出的微细轴轴径可达?20um×200um，加工的微细孔孔径可达?25um×150um，为国内微细电火花加工技术的发展奠定了基础。扬州大学的研究团队提出将