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AZOp-Si异质结太阳电池：制备工艺、性能表征与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

随着全球经济的快速发展，能源需求日益增长，传统化石能源的有限性以及其在使用过程中对环境造成的污染问题，促使人们不断寻求清洁、可持续的能源替代方案。太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的清洁能源，在能源领域展现出广阔的应用前景。太阳能电池作为将太阳能光辐射转化为电能的关键装置，因其能在不受限制的日光下产生电流，成为了能源研究领域的焦点之一。

太阳能电池的发展历程丰富且充满变革。1839年，法国物理学家A.E.Becquerel发现了光生伏特效应，为太阳能电池的发展奠定了理论基础。1883年，美国科学家CharlesFritts制造出第一个太阳能电池，尽管其能量转换效率仅为1%，但标志着太阳能电池领域的开端。此后，太阳能电池技术不断演进，1954年，贝尔实验室开发出转换效率达到6%的硅太阳电池，并应用到第一颗人造卫星上，开启了太阳能电池在空间领域的应用。随着时间的推移，各种新型太阳能电池材料和结构不断涌现，包括多元化合物薄膜太阳能电池、聚合物多层修饰电极型太阳能电池、纳米晶太阳能电池和有机太阳能电池等，转换效率也在持续提升。

近年来，AZOp-Si异质结太阳电池引起了广泛关注。ZnO是一种直接带隙宽禁带II-VI族化合物半导体材料，特别是掺杂的ZnO薄膜不仅具有类金属的导电性，而且对可见光表现出高透过率。AZOp-Si异质结太阳电池结合了ZnO薄膜的优良特性与Si材料在半导体领域的成熟工艺和性能优势，具有高电转换效率、稳定性和低成本等优点，在薄膜太阳电池、紫外探测器、发光器件、薄膜晶体管以及平板显示器等领域具有很大的开发潜力，是一种极具发展前景的太阳能电池。

在当前全球积极推动能源转型，努力实现“双碳”目标的大背景下，高效、稳定且低成本的太阳能电池技术对于促进太阳能的大规模应用，优化能源结构，减少对传统化石能源的依赖，缓解环境污染和气候变化问题具有重要意义。研究AZOp-Si异质结太阳电池，不仅有助于推动太阳能电池技术的不断进步，为其应用提供更好的解决方案，还能弥补该领域研究的空白，为该技术的发展提供参考，为实现太阳能资源的高效利用和能源结构的调整提供技术支持。

1.2国内外研究现状

在国外，众多科研团队对AZOp-Si异质结太阳电池展开了深入研究。Zhao等人在《JournalofAlloysandCompounds》发表的“HighefficiencyAZO/p-Siheterojunctionsolarcells”中，通过优化制备工艺，成功提高了AZO/p-Si异质结太阳电池的效率，研究了不同制备条件对电池性能的影响，发现合适的退火温度和时间能够改善异质结的整流特性和光生伏特效应。Liu等人在《AppliedSurfaceScience》发表的“ControllabledepositionofAZOonSianditsapplicationinp–njunctionsolarcell”中，实现了对AZO在Si衬底上的可控沉积，并将其应用于p-n结太阳能电池，研究了沉积参数对电池性能的影响机制。

在国内，相关研究也取得了一定成果。南京航空航天大学的LiuBin采用射频磁控溅射技术制备了Sn掺杂的ZnO(TZO)薄膜、Al与Sn共掺杂的ZnO(ATZO)薄膜以及AZO/p-Si异质结，研究了Sn溅射功率、衬底温度、生长时间对TZO、ATZO薄膜性能的影响，以及退火对AZO/p-Si异质结整流特性和光生伏特效应的影响，发现退火后异质结的整流比显著提高，光电转换效率提升了0.81%。

然而，目前AZOp-Si异质结太阳电池的研究仍存在一些不足。一方面，对于AZOp材料的制备工艺和性能优化方面，还需要进一步深入研究，以实现更精确的控制和性能提升；另一方面，在异质结界面的优化和稳定性研究上，虽然取得了一定进展，但仍有很大的提升空间，界面处的缺陷和复合问题仍有待进一步解决，以提高电池的整体性能和稳定性。

1.3研究内容与方法

本研究旨在深入探究AZOp-Si异质结太阳电池的制备工艺及其性能表现，具体研究内容如下：

AZOp材料的制备：采用溶液法、气相沉积法等方法，通过精确控制制备过程中的各种参数，如温度、压力、溶液浓度等，制备高品质的AZOp材料。研究不同制备方法和参数对AZOp材料的晶体结构、电学性能、光学性能等的影响，筛选出最佳的制备工艺。

Si衬底的制备及表面处理：运用化学腐蚀法、氢氟酸法等对Si衬底进行处理，制备高质量的Si衬