计及边缘效应的变面积型圆柱面电容式角位移传感器的输出特性.pdfVIP

测控技术

智能感知与仪器仪表２０２２４１１１·３５·

年第卷第期

计及边缘效应的变面积型圆柱面电容式角位移

传感器的输出特性

王福谦

６１０４００

（四川西南航空职业学院机务学院，四川成都）

摘要为了研究计及边缘效应的变面积型圆柱面电容式角位移传感器的输出特性将保角变换法格林

：，、

函数法和计算机数值模拟相结合，讨论变面积型圆柱面电容角位移传感器的电场，给出其电容量的表达

，，

式绘制出该传感器电容量与极板旋转角度之间的变化曲线分析影响该传感器线性度及灵敏度的因

，。，

素并指出改善该传感器输出特性的途径数值模拟结果表明在传感器的外极板所对应的圆心角等于

内极板的情况下增大圆心角的数值减小两极板半径差和两块外极板的间隙可使其同时具有较高的

，，，

线性度、灵敏度和较大的测量范围。由于在讨论时计及了该传感器极板的横向边缘效应，故研究结果具

有较高的精确度。

关键词：变面积型圆柱面电容式角位移传感器；边缘效应；保角变换法；格林函数法；数值模拟

中图分类号文献标志码文章编号

：ＴＰ２１２：Ａ：１０００－８８２９（２０２２）１１－００３５－０７

ｄｏｉ：１０．１９７０８／ｊ．ｃｋｊｓ．２０２２．１１．００５

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