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纳米材料半导体工艺技术产业链发展现状及前景评估报告.docx

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    纳米材料半导体工艺技术产业链发展现状及前景评估报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、纳米材料半导体工艺技术产业链发展现状 4

    1、全球纳米材料半导体产业链布局与演进路径 4

    主要国家和地区产业链分工与技术优势分析 4

    典型企业及研发机构在产业链关键环节的分布 5

    2、中国纳米材料半导体产业链发展现状 7

    上游材料供给能力与国产化率分析 7

    中游制造工艺技术突破及产线建设进展 8

    二、技术进展与核心工艺创新动态 10

    1、纳米级半导体工艺关键技术突破 10

    极紫外光刻（EUV）技术在纳米材料中的应用进展 10

    原子层

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