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氮化硅薄膜及多层膜光性能的深度剖析与前沿探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，光电器件在众多领域发挥着至关重要的作用，从日常的电子设备到高端的科研仪器，从通信领域到能源领域，光电器件的身影无处不在。而氮化硅薄膜及多层膜作为光电器件中的关键材料，其性能的优劣直接影响着光电器件的性能和应用范围。

氮化硅（Si_3N_4）是一种由硅和氮元素组成的化合物，具有多种优异的性能。在机械性能方面，它硬度高，是世界上最坚硬的物质之一，这使得氮化硅薄膜能够在各种需要耐磨的机械部件上发挥重要作用，如轴承、齿轮等；同时，它还具备高强度和良好的耐磨性，能够承受较大的机械负荷，延长部件的使