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椭偏法测量光学薄膜参数的理论与实践深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，薄膜作为一类关键材料，在众多领域发挥着举足轻重的作用。从日常使用的电子产品，到关乎能源未来的太阳能电池；从推动信息技术进步的光电子器件，到保障生命健康的生物医学领域，薄膜的身影无处不在，其性能和质量直接影响着这些领域的发展水平。

在电子领域，随着电子产品不断向小型化、高性能化方向发展，薄膜技术成为实现这一目标的关键。例如，在集成电路制造中，半导体薄膜被用于制造晶体管、二极管等基本元件，硅基半导体薄膜是目前集成电路制造的主流材料，薄膜的厚度和质量直接影响着芯片的性能和运行速度。在光电子领域