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基于电极损耗及塑料收缩补偿的三维微模具微细电火花加工技术研究

摘要

随着产品微小型化趋势的不断发展，对三维微模具的需求日益增长，微细电火花加工技术作为制造三维微模具的重要手段，具有独特优势。然而，电极损耗和塑料收缩问题严重影响了加工精度和模具质量。本文深入研究了基于电极损耗及塑料收缩补偿的三维微模具微细电火花加工技术，通过对微细电火花加工过程中电极损耗规律的分析，提出有效的电极损耗补偿策略；同时，考虑塑料收缩特性，建立相应的补偿模型，以实现高精度的三维微模具加工。通过实验验证了所提方法的有效性，为三维微模具的精密制造提供了理论和技术支持。

关键词

三维微模具；微细电火花加工；电极损耗补偿；塑料收缩补偿

一、引言

在当今科技飞速发展的时代，产品的微小型化已成为众多领域的重要发展趋势，如微电子机械系统（MEMS）、生物医学工程、光学器件等。三维微模具作为制造微小型产品的关键工具，其精度和质量直接决定了微小型产品的性能和应用范围。微细电火花加工（MicroElectricalDischargeMachining,MicroEDM）技术因其非接触加工、能加工高硬度导电材料、可实现高深宽比和微三维结构加工等优点，在三维微模具制造中得到了广泛应用。

然而，在微细电火花加工过程中，电极损耗是一个不可避免的问题。由于电极尺寸微小，其损耗比传统电火花加工更为严重，这不仅会导致电极形状和尺寸的变化，还会影响加工精度和表面质量。此外，在利用微模具进行塑料成型时，塑料材料的收缩特性也会使成型后的塑料制品尺寸与模具型腔尺寸存在偏差，降低产品的精度。因此，研究基于电极损耗及塑料收缩补偿的三维微模具微细电火花加工技术具有重要的现实意义。

二、微细电火花加工技术概述

2.1基本原理

微细电火花加工的原理与传统电火花加工相似，都是基于放电腐蚀原理。在加工过程中，电极和工件都置于绝缘介质中，当在电极和工件之间施加脉冲电压时，电极和工件之间的电场强度逐渐增强。当电场强度达到一定程度时，绝缘介质被击穿，形成放电通道。在放电通道中，电子和离子高速运动，相互碰撞产生大量的热，使放电通道内的温度瞬间升高到数千摄氏度甚至更高。在高温作用下，电极和工件表面的材料被熔化和汽化，形成微小的坑穴。随着放电过程的不断进行，这些微小坑穴逐渐积累，实现材料的去除，从而完成加工。

2.2加工方式

目前，微细电火花加工技术根据电极形式，可分为微细线切割、微细成型和微细轮廓加工三种方式。

微细线切割：采用20μm或30μm的钨丝或其合金作为电极，从金属薄板上加工切割微细零件。这种方式的优点是以少量的材料去除，直接加工微细零件；缺点是被加工形状的最小半径受细线的直径限制，加工中空形状时细线穿孔难度大，且为保障加工中不产生断裂，对细线的张力和加工状态控制要求很高。

微细成型电火花加工：采用微细成型电极在微细电火花加工机床上，通过检测加工状态，调整电极与工件之间的间隙，将微细成型电极的形状拷贝在工件上。该方法的关键点是微细成型电极的制备，通常采用LIGA技术或类似的方法。这种方法可以一次性加工多个微细形状，但成型电极的制备和在机床上的校准是一项挑战，也不适用于任意三维微细形状的加工。

微细轮廓加工：采用单纯形状电极，如圆形或方形电极，通过控制其加工轨迹，完成微细形状的加工。这种加工方式具有较高的灵活性，能够加工出各种复杂的三维微结构。

三、微细电火花加工中的电极损耗问题

3.1电极损耗的原因

在微细电火花加工过程中，电极损耗主要由以下几个原因造成：

热作用：放电过程中产生的高温使电极表面的材料熔化和汽化，导致电极材料的损失。由于电极尺寸微小，其散热面积相对较小，更容易受到热作用的影响，损耗更为严重。

电蚀作用：放电通道中的电子和离子高速撞击电极表面，对电极材料产生侵蚀作用，使电极表面的材料被剥离。

工作液的冲刷：加工过程中，工作液的流动会对电极表面产生冲刷作用，带走电极表面熔化和汽化的材料，加剧电极的损耗。

3.2电极损耗对加工精度的影响

电极损耗会对微细电火花加工精度产生严重影响。在加工过程中，随着电极的损耗，其形状和尺寸会发生变化，导致加工出的微模具型腔尺寸和形状与设计值产生偏差。特别是在加工复杂的三维微结构时，电极损耗的不均匀性会使加工精度难以保证。例如，在加工具有锐角和锐边的微结构时，电极的边角部分由于损耗而迅速变圆，无法精确加工出所需的形状。

3.3电极损耗的研究现状

目前，针对微细电火花加工中的电极损耗问题，国内外学者进行了大量的研究。研究内容主要包括电极损耗规律的研究、电极损耗补偿方法的探索等。在电极损耗规律研究方面，通过实验和数值模拟等方法，分析了放电参数（如脉冲宽度、脉冲间隔、峰值电流等）、电极材料、工作液等因素对电极损耗的影响。在电极损耗补偿方法方