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工业洁净室工程施工方案

一、工程概况

1.1项目基本信息

本工程为某半导体芯片生产车间洁净室改造项目，总建筑面积5200㎡，洁净区面积3800㎡，划分为Class100级（局部Class10级）、Class1000级、Class10000级三个洁净等级区域。主要功能包括光刻区、封装区、检测区及辅助机房，建筑结构为钢筋混凝土框架+彩钢板围护体系，设计使用年限20年，抗震设防烈度7度。

1.2工程技术指标

洁净等级

温度控制

湿度控制

换气次数（次/h）

静压差（Pa）

照度（lux）

Class10

23±1℃

45±5%

≥500

+15（相对相邻区）

≥500

Class100

23±2℃

45±10%

≥300

+10

≥400

Class10000

24±3℃

50±15%

≥60

+5

≥300

二、施工部署

2.1施工组织架构

项目经理：负责整体协调，对质量、安全、进度负总责

技术负责人：编制专项施工方案，解决技术难题

施工员：分区域管理现场施工，监督工序衔接

质量员：执行过程检验与隐蔽工程验收

安全员：落实安全交底与隐患排查

专业班组：洁净空调组、围护结构组、装饰装修组、设备安装组

2.2施工分区划分

A区（核心洁净区）：Class10级光刻间，面积420㎡，采用不锈钢墙面+环氧树脂自流平地面

B区（洁净辅助区）：Class100级封装车间，面积1200㎡，彩钢板围护+PVC卷材地面

C区（一般洁净区）：Class10000级仓储与检测区，面积2180㎡，铝合金龙骨+玻镁板墙面

2.3施工顺序规划

前期准备：图纸会审→材料进场检验→施工样板确认

主体施工：

先非洁净区后洁净区，先上后下（风管→水电→墙面→地面）

核心区（A区）与辅助区（B/C区）同步施工，设置临时隔离带

系统调试：单机试运转→联动调试→洁净度检测

竣工验收：分阶段验收（隐蔽工程→分项工程→整体验收）

三、主要施工方法与技术措施

3.1围护结构施工

3.1.1彩钢板安装

材料要求：采用0.5mm厚镀锌彩钢板（岩棉芯材，防火等级A级），企口式连接，接缝处打硅酮密封胶（耐候性≥20年）

施工工艺：

弹线定位：根据图纸在地面、墙面弹出龙骨安装控制线，误差≤2mm

龙骨固定：C型钢龙骨间距≤1200mm，膨胀螺栓间距≤600mm，与墙体间隙用防火岩棉填塞

彩钢板安装：从转角处开始，板缝搭接宽度≥10mm，自攻螺丝间距≤150mm，螺丝帽用密封胶封堵

圆弧处理：洁净区所有阴阳角采用R50mm铝合金圆弧角，圆弧与墙面接缝打胶宽度5-8mm

3.1.2地面工程

环氧树脂自流平（A区）：

基层处理：打磨机清除浮浆，修补裂缝（采用无溶剂环氧腻子），表面平整度误差≤2mm/2m

底漆施工：涂刷环氧底漆2道，干膜厚度≥80μm，间隔时间≥4h

自流平施工：采用镘刀刮涂，厚度2mm，消泡滚筒消除气泡，养护期7d（温度≥20℃）

PVC卷材地面（B/C区）：

卷材拼接采用热熔焊接，焊缝宽度10-15mm，焊接强度≥母材80%

与墙面交接处做圆弧角（R=50mm），收边条采用不锈钢材质

3.2空气净化系统安装

3.2.1洁净空调系统

风管制作：

采用镀锌钢板（厚度：主管1.2mm，支管0.8mm），咬口连接，法兰密封垫为氯丁橡胶（厚度5mm）

风管内表面必须平整，无横向接缝，咬口缝涂密封胶，安装前进行漏光检测（每10m允许≤1处漏光点）

高效过滤器（HEPA）安装：

安装前在洁净区外拆除包装，进行完整性测试（DOP法，效率≥99.97%@0.3μm）

采用液槽密封，槽内注入3mm高硅油，过滤器边框与液槽接触深度≥5mm

3.2.2气流组织设计

A区：垂直单向流，FFU（风机过滤单元）满布率100%，风速0.45±0.05m/s

B区：水平单向流，FFU布置密度60%，回风采用地沟+格栅地板

C区：乱流型，顶部高效送风口+侧墙下回风，风口风速1.5-2.0m/s

3.3洁净度控制措施

3.3.1施工过程污染防控

人员管理：进入洁净区必须经过风淋室，穿洁净服（A区为无菌服，B/C区为防静电服），禁止携带纸质文件

材料控制：彩钢板、过滤器等洁净材料在洁净包装内储存，安装前用75%酒精擦拭表面

环境管理：每日施工结束后用吸尘器（HEPA过滤）清洁，施工区空气含尘浓度≥0.5μm粒子≤3500粒/L时暂停施工

3.3.2密封与防漏处理

穿透性管线：电缆桥架、水管穿洁净区墙面时，采用套管+防火岩棉填塞，外侧用密封胶封堵

设备与墙面接缝：真空泵、离心机等设备底座与地面间垫3mm厚氯丁橡胶垫，周边打圆弧密封胶

3.4设备安装

3.4.1工艺设备定位

光刻机：采用防震基础（钢筋混凝土+弹簧减震器），水平度误差≤0.1mm/m，与墙面间距≥1.5