RO-EDI-EDI及其演变工艺：工业高纯水制备的革新与探索.docxVIP

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2026-01-14 发布于上海
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RO-EDI-EDI及其演变工艺：工业高纯水制备的革新与探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产中，高纯水的应用范围极为广泛，其重要性不言而喻。从电子工业到制药行业，从化工领域到电力行业，高纯水都扮演着不可或缺的角色，是保障生产顺利进行和产品质量的关键因素。

在电子工业领域，尤其是半导体制造过程中，从单晶硅的生长到芯片的封装测试，每一个环节都对水质有着极高的要求。高纯水用于清洗硅片、制造光刻胶等关键工艺，若水质不纯净，哪怕是极其微量的杂质和离子，都可能导致芯片性能下降、合格率降低，甚至使整个生产过程功亏一篑。据相关研究表明，在芯片制造中，水中的颗粒杂质可能会在芯片表面形成缺陷，影