螺旋叉指电极压电圆盘扭转致动器：原理、性能与多元应用探索.docx

螺旋叉指电极压电圆盘扭转致动器：原理、性能与多元应用探索

一、引言

1.1研究背景与动机

在电机学领域中，压电致动器作为一种重要的传动装置，借助压电材料的特殊性能，能够将电能高效转化为机械能，在现代科技与工业进程中扮演着关键角色。随着各行业对驱动装置性能要求的不断提升，压电致动器以其响应速度快、工作精度高、无需保养等显著优点，被广泛应用于精密仪器、医疗设备、自动化控制系统、精密机械加工等众多领域。在半导体制造设备里，压电致动器凭借其快速响应和高精度定位能力，可精准微调晶圆位置，保障芯片制造的纳米级精度；在医疗成像设备中，它能精确调整探头位置，助力获取高分辨率的人体内部图像，为疾病诊断提供关