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新型氧化物薄膜晶体管：材料创新与工艺优化的协同发展

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子信息技术飞速发展的时代，半导体器件作为核心组成部分，其性能的提升和工艺的优化一直是学术界和产业界关注的焦点。薄膜晶体管（Thin-FilmTransistor，TFT）作为一种重要的半导体器件，以其独特的结构和工作原理，在大面积电子设备中发挥着不可或缺的作用，被广泛应用于显示、传感、存储等众多领域。而氧化物薄膜晶体管（OxideThin-FilmTransistor），作为薄膜晶体管家族中的重要成员，凭借其一系列优异的特性，逐渐成为研究和应用的热点。

从显示领域来看，随着人们对显示设备