机械设计手册(第五版)第1卷（设计资料、机械制图、极限与配合、形位公差、表面结构、工程材料、机构）_501-600.docxVIP

第

章表面技术

1表面技术的分类和功能[49.50]

1.1表面技术的含义和分类

表面技术是用机械、物理或化学方法，来改变工件表面状态、化学成分、组织结构和应力状态，或施加各种覆盖层，使工件表面具有不同于其基体的某种特殊性能，从而达到特定使用要求的一种应用技术。

电镀『槽镀

电化学沉积厂一般电刷镀

表面涂覆：在基质材料表面上制备涂覆层，成分、组织、应力按照需要制备。涂覆层的形成分为化学沉积一化学镀

表面涂覆：在基质材料表面上制备涂覆层，成分、组织、应力按照需要制备。涂覆层的形成分为

化学沉积一化学镀

物理气相一

沉积①

气相沉积

化学气相-沉积2

「真空蒸发

离子镀

化学气相沉积

十等离子体增强CVD激光CVD

表面处理：不改变表面材质成分，只改变基质材料的组织结构及应力，达到改善性能的目

喷丸

厂氧乙炔喷涂「火焰喷涂十燃气高速火焰喷涂燃油高速火焰喷涂电弧喷涂

厂氧乙炔喷涂

「火焰喷涂十燃气高速火焰喷涂

燃油高速火焰喷涂电弧喷涂[高速电筑喷涂

厂婆应加热表面粹火表面淬火一激光加热表面淬火

电子束加热表面淬火表面纳米化加工

表表面工技术的，不附加膜层

表表面工技术

┌扩散渗扩

(化学热处理)L

「一般等离子喷涂

「一般等离子喷涂等离子喷涂十高能等离子喷涂

低气压等离子喷涂气体爆燃喷涂

电熔爆喷涂

特种喷涂激光喷涂

热喷涂

非金属元素表面渗扩金属元素表面渗扩

复合元素表面渗扩

非金属离子注人

表面改性：通过改变十离子注入十金属离子往入

悬浮液热喷涂冷喷涂改善性能的目的，不基质材料成分，达到

悬浮液热喷涂冷喷涂

改善性能的目的，不

氧·

氧·乙炔火焰堆焊手工电弧堆焊

气体保护堆焊

转化膜技术十化学转化膜

金属着色处理

堆焊十埋弧堆焊复合表面技术：综台运用多种表面工程技术，通过各技术间的协同效应改善表层性能

堆焊十埋弧堆焊

等离子弧堆焊电渣堆焊电火花堆焊

等离子弧堆焊电渣堆焊

电火花堆焊

厂氧-乙炔火焰熔结真空电热熔结

激光熔结

电子束熔结热浸镀

粘涂通用涂装涂装-特殊涂装

粘涂

静电涂装

电泳涂装

流化床涂装烧结法涂装

图1-7-1

┌电阳蒸发物理气相沉积(ResistivePVD)感应蒸发物理气相沉积(InductivePVDI激光蒸发物理气相沉和(LaserPVD)

蒸

蒸发

物理

气相

沉积

E

-

灯丝电子束自加速灯丝电子束蒸发物理气相沉积物理气相沉积(FilamentEBPVD)L工作加速电子束蒸发电干束蒸发

灯丝电子束自加速灯丝电子束蒸发

物理气相沉积物理气相沉积

(Filament

EBPVD)L工作加速电子束蒸发

PVD)

物理气相沉积

物理气相沉积电狐练发物理气相沉积双极戳射物理气相沉积

物理

气相

沉积

离子柬戳射物理气相沉积三极溅射物理气相沉积

子镀物理气相沉积一

直流二极等离子辅助物理气相沉积

三极活性反应蒸发-带偏压活性反应蒸发热离子辅助三极离子镀

射频离子镀

脉冲等离子体离子镀离子束辅助-双束溅射一离化闭束离子镀

低压-化学气相沉积

常压化学气相沉积

低压化学气相沉积原子层外延化学气相沉积

等离子辅助化学气相沉积

激光辅助化学气相沉和金属有机化台物化学气相沉积

气溶胶辅助CVD

电化学气相沉积

化学气相疹透

直流等离子化学气相沉积一直流电弧等离子体喷射

一射频等离子化学气相沉积微波等离子化学气相沉积电子辅助化学气相沉积

电子回旋共振(ECR)CVDResonanceCVD)

图1-7-1表面技术的分类

表面技术具有学科的综合性，手段的多样性，广泛的功能性，潜在的创造性，环境的保护性，以及很强的实用性和巨大的增效性。

它可使产品和零部件的局部或整个表面具有如下功能：①提高耐磨性、耐蚀性、耐疲劳、耐氧化、防辐射性能和自润滑性；②实现自修复性(自适应、自补偿和自愈合)和生物相容性；③改善传热性或隔热性、导电性或绝缘性，导磁性、磁记忆性或屏蔽性，增光性、反光性或吸波性，湿润性或憎水性，黏着性或不黏性，吸油性或干摩性、摩擦因数提高或降低，破振性，密封性，以及装饰性或仿古艺术性等。因而得到了迅速的发展和广泛的应用。可以说没有表面技术，就没有现代机电产品。

1.2表面技术