测试技术与传感器课件：电容式传感器.pptxVIP

电容式传感器

6.1电容式传感器的工作原理和结构

6.2电容式传感器的测量电路

6.3电容式传感器的应用

思考题与习题;

电容式传感器

6.1电容式传感器的工作原理和结构

6.1.1电容式传感器的工作原理

电容式传感器实际上是一个具有可变参数的电容器。由两个平行极板组成的电容器若忽略边缘效应，其电容量C为;

电容式传感器

式(6-1)表明，当被测量d、A或ε发生变化时，都会引起

电容量C的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化。根据电容器变化的参数，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介电常数型三类。;

电容式传感器

6.1.2变极距型电容式传感器

1.基本特性

变极距型电容式传感器是将被测量的变化转化为极板间距d的变化，从而使电容量发生变化。图6-1所示为变极距型电容式传感器的原理图。由式(6-1)可知，电容量C与极板间距d不是线性关系，而是如图6-2所示的双曲线关系。

由图6-2可定性地看出，当间隙变化范围△d限制在远小于极板间距d的区间内，即当△dd时，可把△C与△d的关系近似地看成是线性关系。;

电容式传感器

西安电子

西安电子

西安电子科技大字版社西安电子科技大学出版社

Er

图6-1变极距型电容式传感器;

西安电子科技大学出版社

西安电子科技大学出版社

西安电子科技大学出版社

西安电子

0;

当将动极板上移使极板间距减小△d时，电容量增大为;

电容式传感器

由式(6-3)得电容的相对变化量为

△d

(6-4)

由式(6-4)可知，当△dld?1时，变极距型电容式传感器的

电容量与极距间有近似的线性关系，所以变极距型电容式传感器往往设计成△d在极小的范围内变化。;

(6-5)

(6-6);

由此可见，灵敏度K与初始极距d?成反比。因此，在设

计时可通过减小d?来提高灵敏度。一般电容式传感器的起始电容在20～30pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内，最大位移应小于极板间距的1/10。

考虑式(6-5)的线性项和二次项，则

(6-8)

由???得出传感器的非线性误差δ为;

电容式传感器

因此，|△dld?|越小，则δ越小，即只有当△dld?I很小时(小

测量范围),才有近似的线性输出。

由以上分析可以看出，要提高传感器的灵敏度，就需减小极板的初始极距d?,但d?的减小，一方面会导致非线性误差δ增大，另一方面，d?过小还容易引起电容器击穿。改善电容器击穿条件的方法是在极板间放置高介电常数的材料，如云母片，构成有双介电层的变极距型电容式传感器。;

电容式传感器

2.双介电层变极距型电容式传感器

在电容器的两极板之间增加一层云母片等高介电常数的材料作为介电层，可改善电容器的工作条件，提高传感器的灵敏度。

图6-3所示为放置云母片的电容器，此时电容量C变为;

电容式传感器

西安电子

Eg

Eo

西安电子科技大学出版社西电子科技大学出版社

图6-3放置云母片的电容器;

云母片的相对介电常数为空气的7倍，击穿电压不小于

1000kV,而空气的击穿电压为3kV。因此，有了云母片，

极板之间的起始距离d?可以大大减小。同时，式(6-10)中的分母项dg/(Enεg)是恒定值，它能使传感器输出特性的线性度得到改善，只要云母片的厚度选取得当，就能获得较好的线性关系。;

3.差动式变极距型电容式传感器

在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度、减小非线性误差和克服某些外界因素(如电源电压、环境温度等)对测量的影响，常将传感器做成差动的形式，其原理如图6-4所示。

在差动式平板电容器中，当动极板上移△d时，电容器C?的间隙d?变为d?-△d,电容器C?的间隙d?变为d?+△d,则

(6-11)

(6-12);

电容式位或

Eo

Eo

图6-4差动式变极距型电容式传感器原理图;

当△dld?1时，按级数展开得;

(6-16)

(6-17)

(6-18);

(6-19)

所以，差动式变极距型电容式传感器比单一式结构的传感器

灵敏度提高了一倍，同时，非线性误差δ大为减小。;

电容式传感器

6.1.3变面积型电容式传感器

图6-5所示为变面积型电容式传感器原理图。将被测量的移动转化为动极板的移动，引起两极板间有效覆盖面积A的改变，从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿长度方向平移△x时，则电容的相对变化量为;

西安事

a

△xA

电于

西安电于

X西安电于;

图6-6是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个

角位移θ时，其与定极板间的有效