标准漏孔比较法校准装置不确定度分析评定.pdfVIP

探讨·交流

标准漏孔比较法校准装置

不确定度分析评定

UncertaintyAnalysisandEvaluationoftheCalibrationDevice

UsingtheStandardLeakageComparisonMethod

霍海林李雪松李鑫

（核工业理化工程研究院，天津市300180）

HuoHailinLiXuesongLiXin

(ResearchInstituteofPhysicsandChemicalEngineeringofNuclearIndustry,Tianjin300180)

【摘要】

标准漏孔是一种专门用于真空检漏及其校准工作，可在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的

元件。标准漏孔在不同压力下有不同的漏率，通过将标准漏孔连接到检漏仪器上，对检漏仪器的示值进

行比对校准，保证检漏仪器测量的准确性。本文介绍了标准漏孔比较法校准装置用于标准漏孔的检定校

准，通过对标准漏孔比较法校准装置不确定度来源的分析及评定，保证标准漏孔量值准确可靠，进而确

保检漏仪器有效的量值溯源。

【关键词】

标准漏孔比较法不确定度评定

Abstract:Astandardleakisacomponentthatismanufacturedspecificallyforvacuumleakdetectionandits

calibrationwork,iscapableofprovidingaknowngasflowratetotheinsideofavacuumsystemundercertain

conditions.Standardleakshavedifferentleakratesatdifferentpressures,byconnectingthestandardleakhole

totheleakdetectioninstrument,theindicationvalueoftheleakdetectioninstrumentiscomparedandcalibrated

toensuretheaccuracyofthemeasurementoftheleakdetectioninstrument.Thestandardleakagecomparison

calibrationdeviceisusedfortheverificationandcalibrationofstandardleakage,andensurestheaccuracy

andreliabilityofthestandardleakagevaluethroughtheanalysisandevaluationoftheuncertaintysourceof

thestandardleakagecomparisoncalibrationdevice,toensuretheeffectivetrace-abilityoftheleakdetection

instrument.

Keywords:StandardLeakMethodofComparisonUncertaintyEvaluation

引言度进行评定。

在真空技术中，气体在压力或者浓度差的作用标准漏孔比较法采用经过计