纳米尺度下光学邻近校正的预处理与后验证：关键技术与实践探索.docx

纳米尺度下光学邻近校正的预处理与后验证：关键技术与实践探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，纳米技术已成为当今世界最具潜力的研究领域之一。纳米尺度下，物质展现出与宏观状态下截然不同的物理、化学和生物学特性，这些特性为众多领域带来了前所未有的机遇与挑战。在集成电路制造领域，纳米技术的应用推动着芯片特征尺寸不断缩小，从而实现更高的性能、更低的功耗以及更小的体积。然而，当芯片制造进入纳米时代，光刻技术面临着严峻的挑战。

光刻作为集成电路制造的关键工艺，其原理是利用光的衍射和干涉现象将掩模版上的图形转移到硅片上。随着芯片特征尺寸逐渐接近甚至小于光刻工艺中所使用的光波波长，光的衍射